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  • INFICON XTC/3膜厚儀 氦質譜檢漏儀

INFICON XTC/3膜厚儀 氦質譜檢漏儀

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2023-06-10
  • 廠商性質其他
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  • 產品數量80
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INFICON XTC/3膜厚儀 氦質譜檢漏儀 產品詳情

功能

  • 提供有單層和多層型號
  • ModeLock 技術可避免跳模引起的薄膜厚度誤差
  • 支持 Crystal 12®、Crystal Six® 和雙傳感器自動晶體轉換,從而生產力
  • XTC/3M 多層型號最多支持 99 個過程、999 層薄膜、32 種薄膜材料、2 個傳感器和兩種源
  • XTC/3S 單層型號最多支持 9 種薄膜、2 個傳感器和兩種源
  • 易于閱讀的 TFT LCD 圖形顯示器
  • 可以為薄膜和過程分配的描述性名稱,以便于檢索
  • 提供以太網連接
  • 獨立式(不需要計算機)或便于 PC 操作的可選 Windows® 軟件
  • 插拔式替換 INFICON XTC/2 控制器(受限于 XTC/2 功能和命令集)

典型應用

  • 光學鍍膜

新聞

XTC/3 前面板已根據 INFICON
公司的新標準進行重新設計。

規格

類型XTC3/SXTC3/M
頻率分辨率±0.028 Hz @ 6 MHz
±0.028 Hz @ 6 MHz
測量頻率范圍6.0 to 5.0 MHz (fixed) 6.0 to 5.0 MHz (fixed)
測量周期0.25 seconds 0.25 seconds
厚度和速率分辨率/測量 (1)±0.034 ? ±0.034 ?
測量技術ModeLock ModeLock
過程數量1 99
層數1 999
材料計劃(或薄膜)數量9 32
傳感器輸入數量2 2
CrystalSix / Crystal 12 傳感器支持Yes Yes
支持 XTAL 2 開關Yes Yes
來源輸出數量2 2
計算機通信RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional
RS232 波特率115.2 KBaud 115.2 KBaud
自動晶體轉換Yes Yes
繼電器數量12, Not Event Assignable 12, Event Assignable
可編程繼電器功能數量1 1
每個繼電器的功能1 1
繼電器額定電壓30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps 30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps
輸入數量8 TTL, 24VDC Max 8 TTL, 24VDC Max
可編程輸入功能數量1, Not Event Assignable 1, Event Assignable
記錄器輸出數量1 1
手動電源 / 手持控制器Yes Yes
排氣管風扇No Exhaust Fan No Exhaust Fan
測試模式Yes Yes
閘門延遲Yes Yes
二次成型模具Yes Yes
外殼尺寸half rack, 2U high half rack, 2U high
速率和厚度顯示分辨率0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A
INFICON XTC/3膜厚儀     
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