功能
- 模擬掃描和所選峰值的 1.8 ms 每點數(shù)據(jù)率
- TCP/IP 以太網(wǎng)連接
- 雙絲極
- 可現(xiàn)場更換電子倍增器
- 組合陽極、陰極和反射極絲極套件
- 較短的傳感器可降低安裝占地面積
- 九個數(shù)量級的動態(tài)量程
- <2E-15 Torr 的 MDPP（100 amu 型號)
- 信噪比更高
- 可調(diào)換傳感器和電子元件
- 傳感器在潔凈室環(huán)境中裝配、測試并進(jìn)行雙層包裝
- 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
規(guī)格
| 類型 | MPH100F | MPH100M | MPH200F | MPH200M | MPH300F | MPH300M | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 傳感器長度 | 14.3 cm | 19.3 cm | 14.3 cm | 19.3 cm | 14.3 cm | 19.3 cm | |
| 質(zhì)量范圍 | 100 amu | 100 amu | 200 amu | 200 amu | 300 amu | 300 amu | |
| 檢測器類型 | FC | FC/EM | FC | FC/EM | FC | FC/EM | |
| 靈敏度 (FC) | 6E-4 A/Torr | 6E-4 A/Torr | 5E-4 A/Torr | 5E-4 A/Torr | 4E-4 A/Torr | 4E-4 A/Torr | |
| 靈敏度 (EM) | NA | 500 A/Torr | NA | 500 A/Torr | NA | 250 A/Torr | |
| 最小可檢測分壓 | 3E-13 Torr | 2E-15 Torr | 4E-13 Torr | 3E-15 Torr | 5E-13 Torr | 4E-15 Torr | |
| 傳感器工作溫度(FC) | 200°C | 200°C | 200°C | 200°C | 200°C | 200°C | |
| 傳感器工作溫度(EM) | NA | 150°C | NA | 150°C | NA | 150°C | |
| 絲極類型選件 (1) | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | |
| 絲極類型選件 (2) | Tungsten | Tungsten | Tungsten | Tungsten | Tungsten | Tungsten | |
| 分辨率（整個質(zhì)量范圍內(nèi)） | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | |
| 溫度系數(shù) | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | |||||
INFICON MPH 殘余氣體分析儀
