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INFICON MPH 殘余氣體分析儀 氦質譜檢漏儀

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  • 更新時間2023-06-10
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INFICON MPH 殘余氣體分析儀 氦質譜檢漏儀 產品詳情

功能

  • 模擬掃描和所選峰值的 1.8 ms 每點數據率
  • TCP/IP 以太網連接
  • 雙絲極
  • 可現場更換電子倍增器
  • 組合陽極、陰極和反射極絲極套件
  • 較短的傳感器可降低安裝占地面積
  • 九個數量級的動態量程
  • <2E-15 Torr 的 MDPP(100 amu 型號)
  • 信噪比更高
  • 可調換傳感器和電子元件
  • 傳感器在潔凈室環境中裝配、測試并進行雙層包裝
  • 符合 RoHS 標準

規格

類型MPH100FMPH100MMPH200FMPH200MMPH300FMPH300M
傳感器長度14.3 cm 19.3 cm 14.3 cm 19.3 cm 14.3 cm 19.3 cm
質量范圍100 amu 100 amu 200 amu 200 amu 300 amu 300 amu
檢測器類型FC FC/EM FC FC/EM FC FC/EM
靈敏度 (FC)6E-4 A/Torr 6E-4 A/Torr 5E-4 A/Torr 5E-4 A/Torr 4E-4 A/Torr 4E-4 A/Torr
靈敏度 (EM)NA 500 A/Torr NA 500 A/Torr NA 250 A/Torr
最小可檢測分壓3E-13 Torr 2E-15 Torr 4E-13 Torr 3E-15 Torr 5E-13 Torr 4E-15 Torr
傳感器工作溫度(FC)200°C 200°C 200°C 200°C 200°C 200°C
傳感器工作溫度(EM)NA 150°C NA 150°C NA 150°C
絲極類型選件 (1)Y2O3/Ir Y2O3/Ir Y2O3/Ir Y2O3/Ir Y2O3/Ir Y2O3/Ir
絲極類型選件 (2)Tungsten Tungsten Tungsten Tungsten Tungsten Tungsten
分辨率(整個質量范圍內)<1 amu wide (3) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3)
溫度系數<1% of peak height/°C <1% of peak height/°C
INFICON MPH 殘余氣體分析儀     
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