FPMAR-SR-5018 壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái) 光學(xué)表面分析儀

參考價(jià): 面議

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型號(hào)FPMAR-SR-5018
品牌
所在地
更新時(shí)間2022-11-26

孚光精儀（中國(guó)）有限公司

廠商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商
所在地區(qū)
實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
產(chǎn)品數(shù)量1482
人氣值9973

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壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)SR-5018是采用壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)技術(shù)的壓電旋轉(zhuǎn)位移臺(tái),采用壓電電機(jī)驅(qū)動(dòng)可實(shí)現(xiàn)360度無(wú)限旋轉(zhuǎn)

壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái) 光學(xué)表面分析儀產(chǎn)品詳情

壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)SR-5018是采用壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)技術(shù)的壓電旋轉(zhuǎn)位移臺(tái),采用壓電電機(jī)驅(qū)動(dòng)可實(shí)現(xiàn)360度無(wú)限旋轉(zhuǎn)。
壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)SR-5018集成光學(xué)編碼器確保閉環(huán)定位分辨率（低于1μrad）和重復(fù)精度（高達(dá)5μrad）。
我們?yōu)橛脩?hù)提供幾種標(biāo)準(zhǔn)壓電旋轉(zhuǎn)定位臺(tái)方便用戶(hù)選擇,例如非磁性材料和超高真空（UHV）兼容性等,此外所有壓電旋轉(zhuǎn)定位臺(tái)都可以根據(jù)用戶(hù)需求定制.

壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)規(guī)格參數(shù)

型號(hào)	SR-5018	SR-5714	SR-5714C
口徑	8mm	25mm	25mm
S閉環(huán)傳感器分辨率	15μ°	15 μ°	15 μ°
角度分辨率	< 1 μ°	< 0.5 μ°	< 0.5 μ°
掃描范圍	> 3.8 m°	> 2.3 m°	> 2.3 m°
行程范圍	∞	∞	∞
定位臺(tái)尺寸	50 x 50 x 16.5 mm³	45 x 45 x 12.5 mm3	57 x 57 x 13.75 mm³
負(fù)載	20N(2Kg)	25N(2.5Kg)	25N(2.5Kg)
適合真空度	10^-6 mbar	10^-6 mbar	10^-11 mbar
角速度	15度/秒	9度/秒	9度/秒
步進(jìn)	0.2 – 2.0 m°	0.2 – 3.0 m°	0.2 – 2.0 m°
頻率	18.5KHZ	18.5KHZ	18.5KHZ
阻尼力Mb	7N cm	5N cm	5N cm
正向力Fn	20N	25N	25N
旋轉(zhuǎn)臺(tái)尺寸	Ø 41 mm	Ø 57 mm	Ø 48 mm
重量	100g	110g	105g
S閉環(huán)分辨率	15 μ° MSC/SDC	-	-
L閉環(huán)傳感器分辨率	60 μ°	-	-
L閉環(huán)分辨率	60 μ° MSC/SDC 1 m° (H)CU	-	-

壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)應(yīng)用案例

壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)搭建的3D晶圓定位系統(tǒng)（4英寸晶圓）

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