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FPMAR-SR-5018 壓電旋轉臺 光學表面分析儀

參考價
面議
具體成交價以合同協議為準
  • 型號FPMAR-SR-5018
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2022-11-26
  • 廠商性質經銷商
  • 所在地區
  • 實名認證已認證
  • 產品數量1482
  • 人氣值9940
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壓電旋轉臺SR-5018集成光學編碼器確保閉環定位分辨率(低于1μrad)和重復精度(高達5μrad)。
我們為用戶提供幾種標準壓電旋轉定位臺方便用戶選擇,例如非磁性材料和超高真空(UHV)兼容性等,此外所有壓電旋轉定位臺都可以根據用戶需求定制.

壓電旋轉臺規格參數
型號SR-5018SR-5714SR-5714C
口徑8mm25mm25mm
S閉環傳感器分辨率15μ°15 μ°15 μ°
角度分辨率< 1 μ°< 0.5 μ°< 0.5 μ°
掃描范圍> 3.8 m°> 2.3 m°> 2.3 m°
行程范圍
定位臺尺寸50 x 50 x 16.5 mm345 x 45 x 12.5 mm357 x 57 x 13.75 mm3
負載20N(2Kg)25N(2.5Kg)25N(2.5Kg)
適合真空度10-6 mbar10-6 mbar10-11 mbar
角速度15度/秒9度/秒9度/秒
步進0.2 – 2.0 m°0.2 – 3.0 m°0.2 – 2.0 m°
頻率18.5KHZ18.5KHZ18.5KHZ
阻尼力Mb7N cm5N cm5N cm
正向力Fn20N25N25N
旋轉臺尺寸Ø 41 mmØ 57 mmØ 48 mm
重量100g110g105g
S閉環分辨率15 μ° MSC/SDC--
L閉環傳感器分辨率60 μ°--
L閉環分辨率60 μ° MSC/SDC
1 m° (H)CU
--
壓電旋轉臺應用案例

壓電旋轉臺搭建的3D晶圓定位系統(4英寸晶圓)
關鍵詞:標準 傳感器
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