高精度重型六軸并聯(lián)定位平臺是高負載六自由度定位平臺hexapod,適合高精度六自由度定位應用。
高精度重型六軸并聯(lián)定位平臺ZONDA六足是高性能6DOF定位系統(tǒng)，滿足高精度、穩(wěn)定性、精度、重載和大行程的應用。
高精度重型六軸并聯(lián)定位平臺六吊艙設計用于定位高達400公斤的有效載荷，分辨率僅為0.1µm，在XY方向為400毫米，在Z方向為300毫米，在Rx、Ry和Rz三個旋轉方向為40°時提供了出色的行程。
高精度重型六軸并聯(lián)定位平臺ZONDA六足具有的精度和熱穩(wěn)定性特性，這要歸功于集成了具有非常低CTE（熱膨脹系數(shù)）的Invar組件、作為致動器標準集成的線性編碼器以及特別剛性的接頭設計。
高精度重型六軸并聯(lián)定位平臺特色
高穩(wěn)定性
負載高達400kg
大行程
可用于真空環(huán)境
高精度重型六軸并聯(lián)定位平臺典型應用
儀器科學與技術
航空航天
光學
計量
天文學
半導體等

高精度六軸并聯(lián)定位平臺參數(shù)
行程范圍Tx,Ty：+/-200mm
行程范圍：Tz： +/-150mm
行程范圍：Rx,Ry:+/-20度
行程范圍：Rz: +/-20度
分辨率Tx,Ty,Tz: 0.1um
分辨率Rx, Ry,Rz: 0.5urad
重復精度Tx,Ty,Tz: +/-0.25um
重復精度Rx,Ry,Rz:+/-1urad
速度Tx, Ty: 0.8mm/s
速度：Tz: 0.4mm/s
速度Rx Ry: 0.2度/秒
速度Rz : 0.4度/秒
負載: 400kg
剛度 XY:8.5N/um
剛度Z: 30N/um
工作溫度：0-75℃
位移平臺： dia720mm
中間通孔：dia 640mm
自身重量：99kg
線纜長度：3m
供電要求：110-240VAC