大孔徑壓電旋轉臺是采用壓電旋轉臺技術的壓電旋轉位移臺,采用壓電電機驅動可實現360度無限旋轉。
大孔徑壓電旋轉臺SR-7012集成光學編碼器確保閉環定位分辨率（低于1μrad）和重復精度（高達5μrad）。
我們為用戶提供幾種標準壓電旋轉定位臺方便用戶選擇,例如非磁性材料和超高真空（UHV）兼容性等,此外所有壓電旋轉定位臺都可以根據用戶需求定制.
大孔徑壓電旋轉臺規格參數
大孔徑壓電旋轉臺應用案例
大孔徑壓電旋轉臺搭建的3D晶圓定位系統（4英寸晶圓）
大孔徑壓電旋轉臺SR-7012集成光學編碼器確保閉環定位分辨率（低于1μrad）和重復精度（高達5μrad）。
我們為用戶提供幾種標準壓電旋轉定位臺方便用戶選擇,例如非磁性材料和超高真空（UHV）兼容性等,此外所有壓電旋轉定位臺都可以根據用戶需求定制.
大孔徑壓電旋轉臺規格參數
| 型號 | SR-7012 | SR-7021 | SR-12012 |
| 口徑 | Ø 30 mm | Ø 25 mm | Ø 82 mm |
| S閉環傳感器分辨率 | 15μ° | 15 μ° | 5 μ° |
| 角度分辨率 | < 0.5 μ° | < 0.5 μ° | < 1 μ° |
| 掃描范圍 | >2.5 m° | > 3.1 m° | > 4 m° |
| 行程范圍 | ∞ | ∞ | ∞ |
| 定位臺尺寸 | 70 x 70 x 12 mm3 | 90 x 90 x 21 mm3 | 120 x 120 x 12 mm3 |
| 負載 | 25N(2.5Kg) | 25N(2.5Kg) | 20N(2Kg) |
| 適合真空度 | 10-11 mbar | 10-11mbar | 10-6mbar |
| 角速度 | 9度/秒 | 9度/秒 | 10度/秒 |
| 步進 | 0.2 – 2.0 m° | 0.2 – 2.0 m° | 0.3 – 1.5 m° |
| 頻率 | 18.5KHZ | 18.5KHZ | 18.5KHZ |
| 阻尼力Mb | 10N cm | 10N cm | 15N cm |
| 正向力Fn | 25N | 25N | 20N |
| 旋轉臺尺寸 | Ø 60 mm | Ø 70 mm | Ø 110 mm |
| 重量 | 100g | 400g | 320g |
大孔徑壓電旋轉臺搭建的3D晶圓定位系統（4英寸晶圓）
