AX10FD微小氣體流量計 氣體流量控制器 微小氣體質量流量計 微小流量計 微小流量計廠家 西安微小流量計 質量流量控制器
AX10FD質量流量控制器(MassFlowController縮寫為MFC)用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、是有工業(yè)、醫(yī)藥、***和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括:電子工藝設備,如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
AX10FD微小流量計的主要參數: