AX10FD氣體流量計(jì) 微小流量計(jì) 微小氣體質(zhì)量流量計(jì)
工作原理
AX10FD 系列氣體質(zhì)量流量控制器的精度、堅(jiān)固性及可靠性源于我公司*的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動(dòng)校
正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個(gè)常數(shù)值，然后測(cè)量氣體流量的冷卻效果。通過測(cè)量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體
的質(zhì)量流量成正比的原理計(jì)算流量。兩傳感器均為標(biāo)準(zhǔn)級(jí)白金電阻溫度探測(cè)器（RTD）。白金 RTD 絲纏繞在堅(jiān)固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個(gè)傳感器密封在 316 不銹鋼包
裝殼內(nèi)。
用途與特點(diǎn)
質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、是有工業(yè)、醫(yī)藥、***和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
主要技術(shù)指標(biāo)
量程范圍 （20,30,50,100,200,300,500）SCCM （0~1,2,3,5,10）SLM
準(zhǔn)確度 +1.5%F.S
線性 +0.5~1.5%F.S
重復(fù)精度 +0.2%F.S
響應(yīng)時(shí)間 10sec 氣特性：（1~4）sec
工作壓差 0.1~0.5MPa
耐壓 3Mpa 6Mpa 10Mpa
工作環(huán)境溫度 0~70℃
數(shù)字量 RS485 MODBUS 協(xié)議
模擬量 DC 0~5V ，4~20mA 可選
電特性：SLM
供電 DC +15V/24V 可選，流量計(jì)＜50mA，控制器＜200mA
電氣連接 DB15
漏率 1×10 SCCSHe
底座材質(zhì) 316L 不銹鋼
密封材質(zhì) 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠
氣路接頭 Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞
注意: 質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮?dú)?N₂)標(biāo)定.
質(zhì)量流量的單位規(guī)定為:SCCM(標(biāo)準(zhǔn)毫升/分);SLM(標(biāo)準(zhǔn)升/分)
注意事項(xiàng)
加裝過濾器
使用氣體必須凈化，切忌粉塵、液體和油污。必要時(shí)加裝過濾器，如果流量計(jì)出口接有液體源瓶，應(yīng)在流量計(jì)出口加裝單向閥，房子液體回流損壞流量計(jì)。
使用腐蝕性氣體
流量計(jì)通道采用的材料為：SUS 316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS 417J1（00Cr30Mo2）,氟橡膠等耐蝕材料。在用戶系統(tǒng)無(wú)汽水、低泄露、勤清晰、使用得當(dāng)?shù)臈l件下，可以用于控制一般的腐蝕性其他使用強(qiáng)腐蝕性氣體和有機(jī)溶劑氣體時(shí)，應(yīng)在定貨時(shí)聲明。
使用特殊腐蝕性氣體，所有密封材料都要作相應(yīng)改變。
安裝位置問題
本控制器安裝時(shí)***保持安裝面水平，但對(duì)位置并不特別敏感， 可以任意位置安
裝，非水平位置安裝時(shí)若發(fā)現(xiàn)零點(diǎn)偏移，可以調(diào)整零點(diǎn)后在工作。
閥口密封問題
質(zhì)量流量控制器的電磁閥是調(diào)節(jié)閥, 不是截止閥, 不能當(dāng)截止閥使用, 用戶應(yīng)另配截止閥。特別是用戶使用腐蝕性氣體，通常應(yīng)該在質(zhì)量流量控制器進(jìn)出氣口各加一個(gè)截止閥，以保證工作安全。長(zhǎng)期工作后, 如果控制器閥口的漏氣率在 2%F.S 以內(nèi), 是屬于正常情況。如果漏氣大于滿量程的 2%, 則應(yīng)進(jìn)行維修。
標(biāo)定與不同氣體的換算
本流量質(zhì)量控制器出廠通常用氮?dú)?N ₂ )標(biāo)定。如果要求用使用氣體標(biāo)定，需要在訂貨時(shí)與銷售人員特別申明。
用氮?dú)鈽?biāo)定的流量控制器用戶使用其它氣體時(shí)，可以通過附錄的轉(zhuǎn)換系數(shù)進(jìn)行換算。
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