XYZ三維壓電掃描臺是為壓電掃描定位設計的三維壓電掃描臺和XYZ電掃描臺,廣泛用于掃描探針顯微鏡壓電掃描,原子力顯微鏡壓電掃描和微納操作,非常在開放和閉環系統中的光學元件壓電掃描定位和掃描探針壓電掃描應用。
XYZ三維壓電掃描臺批發價格主要特點
- 亞納米級的分辨率
- 高的帶寬
- 高速響應
- 高的可靠性
- 結構緊湊
- 壓電陶瓷驅動
- 柔性鉸鏈設計
- 安裝簡單和簡單的圖像校準
- 電容位移傳感器閉環反饋
- 遲滯/線性誤差<0.005%
XYZ三維壓電掃描臺批發價格應用
掃描探針顯微鏡
原子力顯微鏡
納米定位
計量學應用
生物學研究
電子學應用
微操作
規格
運動特性
主動軸 XY(Z)
XY運動范圍, µm 200 x 200
Z軸運動距離, µm 20
分辨率（閉環）nm 1
分辨率（開環）,nm 0.1
整范圍內的角度傾斜，° ＜0.01
大掃描速度， Hz 10
控制性能
XY軸電容量, pF 30
Z軸電容量, pF 35
機械性能
諧振頻率Z軸， kHz 30
諧振頻率 XY, kHz 1
負載容量, g 100
操作溫度范圍，°C - 40…80
尺寸，mm 100 x 100 x 33 mm
材料 鋁
