1~3維精密壓電納米掃描臺采用單片金屬體鋁合金制成,采用了EDM電線腐蝕和其他精密機械手段構建,納米掃描臺該種設計使得運動有著近*的直線度和平面度，與使用壓電陶瓷管的納米掃描臺相比,它具有高機械強度并可球面納米掃描。
1~3維精密壓電納米掃描臺型號說明：
產品型號 | PK3L60-080U | PK3L60-080U-S | 公差 | |
運動自由度 | X、Y、Z | X、Y、Z | - | |
傳感器類型 | - | Strain Gage | - | |
標稱行程范圍（@0~+120V） | 80 μm/軸 | 80 μm/軸 | ±20% | |
行程范圍（@-20~+150V） | 100 μm/軸 | 100 μm/軸 | ±20% | |
分辨率 | 5 nm | 7 nm | typ. | |
重復定位精度 | - | 0.05% F.S. | typ. | |
線性度 | - | 0.15% F.S. | typ. | |
承載能力 | 6 N | 6 N | Max. | |
剛度 | 0.8 N/μm | 0.8 N/μm | ±20% | |
諧振頻率 | 0g | （X）210 Hz、（Y）210 Hz、 （Z）190 Hz | （X）210 Hz、（Y）210 Hz、 （Z）190 Hz | ±20% |
靜電容量 | 1.6 μF/軸 | 1.6 μF/軸 | ±20% | |
工作溫度范圍 | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | - | |
驅動電壓范圍（*）1 | 0~+120 V | 0~+120 V | typ. | |
線纜長度 | 1.5 m/軸 | 1.5 m/軸 | ±10mm | |
外形尺寸(LxH) | 60×60×24 mm | 60×60×24 mm | - | |
重量 | 180 g | 180 g | ±5% | |
本體材質2 | 鋁（B）、鋼 | 鋁（B）、鋼 | ||
產品特點：
◆ 超薄的外形尺寸；
◆ 超大行程；
◆ 采用無摩擦高精度柔性鉸鏈導向系統，有效消除側向運動分量；
◆ 內置高性能的壓電陶瓷，高可靠性；
◆ 內置精密位移傳感器進行全閉環位置反饋，開/閉環可供選擇。
產品規格
XY范圍 100x100 µm
zui小掃描步進 0.1 nm
整范圍內的角度傾斜 < 0001°
zui大掃描速度 10 Hz（行/秒）
zui大樣品重量 100g
諧振頻率XY 1 kHz
非線性殘余 ≤0.03%
傳感器類型 電容傳感器
內置TDC（時間數字轉換器）位數 24位
