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  • 1~3維精密微動(dòng)壓電平臺(tái) 光學(xué)表面分析儀

PFV3D70-600U-S 1~3維精密微動(dòng)壓電平臺(tái) 光學(xué)表面分析儀

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  • 型號(hào)PFV3D70-600U-S
  • 品牌
  • 所在地上海市
  • 更新時(shí)間2022-10-05
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 所在地區(qū)上海市
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量160
  • 人氣值48789
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1~3維精密微動(dòng)壓電平臺(tái)內(nèi)置高性能壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件,采用SGS傳感器閉環(huán),實(shí)現(xiàn)精密高速定位運(yùn)動(dòng),產(chǎn)品結(jié)構(gòu)緊湊,易于集成,采用分離式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),減小了兩自由度之間的耦合,采用高可靠性的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng),具有較高的重復(fù)定位精度和納米級(jí)位移分辨率,機(jī)體材料分鋁合金,嚴(yán)格保證構(gòu)結(jié)精度;采用計(jì)算機(jī)有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計(jì)方法設(shè)計(jì)微動(dòng)結(jié)構(gòu);采用*的表面處理工藝,提高了適應(yīng)不同工作環(huán)境的能力。
1~3維精密微動(dòng)壓電平臺(tái) 光學(xué)表面分析儀 產(chǎn)品詳情

   1~3維精密微動(dòng)壓電平臺(tái)內(nèi)置高性能壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件,采用SGS傳感器閉環(huán),實(shí)現(xiàn)精密高速定位運(yùn)動(dòng),產(chǎn)品結(jié)構(gòu)緊湊,易于集成,采用分離式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),減小了兩自由度之間的耦合,采用高可靠性的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng),具有較高的重復(fù)定位精度和納米級(jí)位移分辨率,機(jī)體材料分鋁合金,嚴(yán)格保證構(gòu)結(jié)精度;采用計(jì)算機(jī)有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計(jì)方法設(shè)計(jì)微動(dòng)結(jié)構(gòu);采用*的表面處理工藝,提高了適應(yīng)不同工作環(huán)境的能力。 

1~3維精密微動(dòng)壓電平臺(tái)典型應(yīng)用
•  顯微成像                     •  納米定位
•  生物技術(shù)                     •  半導(dǎo)體技術(shù)
•  質(zhì)量保證測(cè)試              •  微車削
•  原子力顯微鏡

產(chǎn)品特性 
1.采用高性能的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng); 
2.具有開環(huán)和閉環(huán)兩種規(guī)格型號(hào); 
3.采用數(shù)控、線切割等加工工藝,嚴(yán)格保證構(gòu)結(jié)精度; 
4.采用計(jì)算機(jī)有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計(jì)方法設(shè)計(jì)微動(dòng)結(jié)構(gòu); 
5.采用*的表面處理工藝,提高了適應(yīng)不同工作環(huán)境的能力; 
6.超高性能的開/閉環(huán)掃描平臺(tái)。 

 

型號(hào)說明:

產(chǎn)品型號(hào)

PK3L60-080U

PK3L60-080U-S

公差

運(yùn)動(dòng)自由度

X、Y、Z

X、Y、Z

-

傳感器類型

-

Strain Gage

-

標(biāo)稱行程范圍(@0~+120V)

80 μm/軸

80 μm/軸

±20%

行程范圍(@-20~+150V)

100 μm/軸

100 μm/軸

±20%

分辨率

5 nm

7 nm

typ.

重復(fù)定位精度

-

0.05% F.S.

typ.

線性度

-

0.15% F.S.

typ.

承載能力

6 N

6 N

Max.

剛度

0.8 N/μm

0.8 N/μm

±20%

諧振頻率

0g

(X)210 Hz、(Y)210 Hz、

(Z)190 Hz

(X)210 Hz、(Y)210 Hz、

(Z)190 Hz

±20%

靜電容量

1.6 μF/軸

1.6 μF/軸

±20%

工作溫度范圍

-10~+70 ℃

-10~+70 ℃

-

驅(qū)動(dòng)電壓范圍(*)1

0~+120 V

0~+120 V

typ.

線纜長(zhǎng)度

1.5 m/軸

1.5 m/軸

±10mm

外形尺寸(LxH)

60×60×24 mm

60×60×24 mm

-

重量

180 g

180 g

±5%

本體材質(zhì)2

鋁(B)、鋼

鋁(B)、鋼

 

關(guān)鍵詞:傳感器 顯微鏡
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