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臺階儀

臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器。根據使用傳感器的不同,接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。其測量原理是:當觸針沿被測表面輕輕滑過時,由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時,還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。傳感器輸出的電信號經測量電橋后,輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調幅信號。經放大與相敏整流后,可將位移信號從調幅信號中解調出來,得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號。再經噪音濾波器、波度濾波器進一步濾去調制頻率與外界干擾信號

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  • NS200國內臺階儀品牌廠家
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    摘要 中圖儀器國內臺階儀品牌廠家NS系列臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在ITO導電薄膜厚度的測量上具有很強的優(yōu)勢。

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  • 摘要 中圖儀器國產臺階儀探針式輪廓儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀,其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在ITO導電薄膜厚度的測量上具有很強的優(yōu)勢。

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  • NS200中圖臺階儀品牌
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    摘要 NS系列中圖臺階儀品牌采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術,使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。

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  • NS200國產臺階儀測粗糙度
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    摘要NS系列國產臺階儀測粗糙度應用場景適應性強,其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,能夠廣泛應用于半導體、太陽能光伏、光學加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領域內的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位,其對表面微觀形貌參數的準確表征,對于相關材料...

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  • 摘要中圖儀器國產臺階儀測試薄膜厚度配備了500W像素的彩色相機,可實時將探針掃描軌跡的形貌圖像傳輸到軟件中顯示,進行即時的高精度定位測量。可以對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。臺階儀對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒...

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  • NS200國產臺階儀品牌廠家
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    摘要國產臺階儀品牌廠家中圖儀器的NS系列臺階儀,是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。臺階儀對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,樣品適應面廣,數據復現性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效,是微觀表面測...

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  • 摘要 中圖儀器NS系列臺階儀接觸式輪廓測量儀主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,樣品適應面廣,數據復現性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效,是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。

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  • NS200表面臺階輪廓儀
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    摘要NS系列表面臺階輪廓儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。應用場景適應性強,其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,能夠廣泛應用于半導體、太陽能光伏、光學加工、LED、MEMS器件、微納材料制...

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  • NS200臺階儀探針輪廓儀
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    摘要中圖儀器NS系列臺階儀探針輪廓儀是一種接觸式表面形貌測量儀器,可以對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。臺階儀對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,樣品適應面廣,數據復現性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效,是微觀表面...

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  • NS200膜厚臺階儀
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    摘要NS系列膜厚臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。儀器采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術,使得儀...

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  • NS200接觸式臺階儀
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    摘要 中圖儀器NS系列接觸式臺階儀主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。它對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,樣品適應面廣,數據復現性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效,是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。

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  • 摘要 中圖儀器NS臺階儀探針式表面輪廓儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀,其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點。它可以對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。

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  • NS200國產臺階形貌儀
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    摘要 NS200國產臺階形貌儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀,其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在ITO導電薄膜厚度的測量上具有很強的優(yōu)勢。

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  • NS200國產臺階膜厚儀
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    摘要 NS200國產臺階膜厚儀主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在ITO導電薄膜厚度的測量上具有很強的優(yōu)勢。

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  • NS200臺階輪廓儀
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    摘要 NS系列臺階輪廓儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度,可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

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  • 摘要 NS系列微觀表面臺階顯微檢測儀是利用光學干涉原理,通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度,500萬像素高分辨率彩色攝像機,即時進行高精度定位測量。可以將探針的形貌圖像傳輸到控制電腦上,使得測量更加直觀。

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  • NS200臺階厚度測量儀
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    摘要 NS200臺階厚度測量儀能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度,可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料,是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀。

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  • NS200臺階厚度儀
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    摘要 針對測量ITO導電薄膜的應用場景,NS系列臺階厚度儀結合了360°旋轉臺的全電動載物臺,能夠快速定位到測量標志位;對于批量樣件,提供自定義多區(qū)域測量功能,實現一鍵多點位測量;提供SPC統計分析功能,直觀分析測量數值變化趨勢。

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  • NS200探針式臺階儀
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    摘要NS200探針式臺階儀是一種接觸式表面形貌測量儀器,可以對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。臺階儀對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,樣品適應面廣,數據復現性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效,是微觀表面測量中使用...

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  • NS200國產臺階儀
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    摘要 NS200國產臺階儀能夠測量幾個納米到330μm的臺階高度。這使其可以準確測量在蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料;可以測量表面的2D形狀或翹曲。也能夠測量在生產中包含多個工藝層的半導體或化合物半導體器件所產生的應力。

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  • 摘要 產品描述:Dektak Pro是布魯克新發(fā)布的一款的探針式輪廓儀/臺階儀,基于第十一代Dektak®系統,具有4 ?重復性的優(yōu)異表現,并提供200毫米平臺選項

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  • 摘要簡單介紹 臺階鉆頭同心度測試儀/定心鉆頭同心度測試儀/鉆頭同心度測試儀配有專用夾具,夾持倒頭,可以旋轉360度測量刀具;可選配備了業(yè)界功能*強大的美國M1-M3集成化多功能自動尋邊測量軟件,高清影像...

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  • 摘要簡單介紹 毛坯階梯軸同心度跳動儀/臺階軸同心度跳動儀/同心度跳動儀偏擺儀,刀具同軸度測量儀,同軸度檢測儀及同軸度測試儀適用于測量的行業(yè)有數控車加工小軸同心度儀,自動車加工同軸度測量儀,打印機軸加工同...

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  • 摘要簡單介紹 大型階梯軸刀刃可程序控制檢測儀/鍛圓鍛造臺階軸刀刃可程序控制檢測儀/滾花軸刀刃可程序控制檢測儀本機器銑刀激光外徑跳動測量儀,配公司高精度,多功能全電腦控制測量機,以非接觸式方式測量成型銑刀...

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  • 摘要簡單介紹 毛坯階梯軸刀刃可程序控制檢測儀/臺階軸刀刃可程序控制檢測儀/變速箱步輪軸刀刃可程序控制檢測儀本機器銑刀激光外徑跳動測量儀,配公司高精度,多功能全電腦控制測量機,以非接觸式方式測量成型銑刀/...

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  • 摘要簡單介紹 臺階軸自動跳動測定儀變速箱步輪軸自動跳動測定儀自主研發(fā)生產同心度儀,偏擺儀,刀具同軸度測量儀,同軸度檢測儀 及同軸度測試儀適用于測量的行業(yè)有數控車加工小軸同心度儀,自動 車加工同軸度測量儀...

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  • 摘要簡單介紹 鍛圓鍛造臺階軸同心度檢測儀/滾花軸同心度檢測儀同心度測定儀產品主要采用雙表測量,可同時測量圓跳動和端面跳動,是軸類工件或棒類,盤形工件外圓真圓度,平面度,兩圓的偏心度,平面垂直度等參數的測...

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  • 摘要簡單介紹 臺階鉆頭同心度測試儀/定心鉆頭同心度測試儀/鉆頭同心度測試儀同心度儀測量直徑: 3-35mm同心度儀適用長度: 102mm同心度儀精度: 0.002mm臺階鉆頭同心度測試儀/定心鉆頭同心度...

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  • 摘要 65系列高精度同心度測量儀特點:適用長軸長工件重量大產品同心度測量儀設計:單邊高度可調適用兩端基準直徑不一樣產品同心度測量中心高90mm鞍座高度可調15mm

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  • 美能探針式臺階儀SP200
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    摘要表面微觀特征是材料、化學、精密制造等領域的主要研究內容,準確地評價表面微觀形貌、表面特征等,對于相關材料的評定、性能的分析和加工工藝的改善都具有重要意義。在半導體、光伏、LED、MEMS器件、材料等領域,表面臺階高度、膜厚的準確測量具有十分重要的價值,尤其是臺階高度是...

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  • 摘要 臺階儀

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  • 摘要 產品描述:Dektak Pro是布魯克新發(fā)布的一款的探針式輪廓儀/臺階儀,基于第十一代Dektak®系統,具有4 ?重復性的優(yōu)異表現,并提供200毫米平臺選項

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  • P-7P-7 臺階儀
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    摘要 P-7建立在市場的P-17臺式探針輪廓分析系統的成功基礎之上。 它保持了P-17技術的測量性能,并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了的性價比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達150mm而無需圖像拼接。

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  • P-170P-170 臺階儀
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    摘要P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀,將行業(yè)的P-17臺式系統的測量性能和經過生產驗證的HRP®-260的機械傳送臂相結合。 這樣的組合為機械傳送臂系統提供了極低的擁有成本,適用于半導體,化合物半導體和相關行業(yè)。 P-170可以對臺...

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  • P-17P-17 臺階儀
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    摘要P-17是第八代臺式探針輪廓儀,是40多年的表面量測經驗的結晶。該系統業(yè)界,支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。該系統結合了UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描平臺,因而具備出色的測量穩(wěn)定性。 ...

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  • 摘要Alpha-Step D-600探針式輪廓儀支持臺階高度和粗糙度的2D及3D測量,以及翹曲度和應力的2D測量。 創(chuàng)新的光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。探針測量技術的一個優(yōu)點是它是一種直接測量,與材料特性無關。 可調節(jié)的觸力以及探針的選擇...

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  • 摘要Alpha-Step D-500探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D測量。 創(chuàng)新的光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。探針測量技術的一個優(yōu)點是它是一種直接測量,與材料特性無關。 可調節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結構...

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  • 摘要 KLA D-300探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D 測量。 創(chuàng)新的光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。

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  • D500 高精度臺階儀
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    摘要 產品介紹 Alpha-Step D-500 探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D 測量。 創(chuàng)新的光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。

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  • 摘要 產品介紹 KLA的探針式臺階儀Alpha-Step D-600,可測量納米級至1200um臺階高度,并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%臺階高度重復性以及亞埃級的分辨率。

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  • 摘要 產品介紹 KLA是半導體在線檢測設備市場較大的供應商,在半導體、數據存儲、 MEMS 、太陽能、光電子 以及其他領域中有著不俗的。 P-7是KLA公司的第八代探針式臺階儀系統,歷經技術積累和不 斷迭代更新,集合眾多技術優(yōu)勢。

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  • 摘要產品介紹 P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀,將行業(yè)的P-17臺式系統的測量性能和經過生產驗證的HRP®-260的機械傳送臂相結合。 這樣的組合為機械傳送臂系統提供了低成本,適用于半導體,化合物半導體和相關行業(yè)。 P-170可以對...

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  • 摘要 產品介紹 P-17是第八代臺式探針輪廓儀。該系統業(yè)界,支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。

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  • D300 經濟型高精度臺階儀
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    摘要 產品介紹 Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D 測量。光學杠桿傳感 器技術提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。

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  • ET200日本KOSAKA臺階儀ET200
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    摘要 日本KOSAKA臺階儀ET200用于測量半導體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學器件、薄膜/化學涂層以及平板顯示等。

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最新產品\ NEW PRODUCT
  • 國產探針式臺階儀

    NS系列國產探針式臺階儀通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協同工作,結合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數)、膜層厚度及應力分布,為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質量管控提供可靠數據支持。
  • 納米級表面形貌臺階儀

    ?中圖儀器納米級表面形貌臺階儀單拱龍門式設計,結構穩(wěn)定性好,而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,提高了測量精度。線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。
  • 精密接觸式臺階儀

    NS系列精密接觸式臺階儀是一款為高精度微觀形貌測量設計的超精密接觸式儀器,通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協同工作,結合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數)、膜層厚度及應力分布,為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質量管控提供可靠數據支持。
  • 納米級臺階儀

    NS系列納米級臺階儀線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。
  • 接觸式表面形貌臺階儀

    NS系列接觸式表面形貌臺階儀主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。單拱龍門式設計,結構穩(wěn)定性好,而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,提高了測量精度。
  • 高精度探針接觸式臺階儀

    NS系列高精度探針接觸式臺階儀單拱龍門式設計,結構穩(wěn)定性好,而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,提高了測量精度。線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。
  • 探針式薄膜厚度臺階儀

    NS系列探針式薄膜厚度臺階儀通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協同工作,結合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數)、膜層厚度及應力分布,為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質量管控提供可靠數據支持。
  • 高精度探針式臺階儀

    NS系列高精度探針式臺階儀主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。單拱龍門式設計,結構穩(wěn)定性好,而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,提高了測量精度。
  • 探針式接觸臺階高度儀

    NS系列探針式接觸臺階高度儀應用場景適應性強,其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,能夠廣泛應用于半導體、太陽能光伏、光學加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領域內的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位,其對表面微觀形貌參數的準確表征,對于相關材料的評定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。
  • 國產高精度臺階儀

    NS系列國產高精度臺階儀采用了磁吸式測針,當需要執(zhí)行換針操作時,可現場快速更換掃描測針,并根據軟件中的標定模塊進行快速標定,確保換針后的精度和重復性,減少維護煩惱。
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