壓電納米定位臺的運動行程范圍zui大可達300μm，且它具有納米級分辨率以及毫秒級的相應時間。在精密定位領域中發揮著至關重要的作用，且應用非常廣泛，例如顯微掃描、光路調整、納米操控技術、CCD圖像處理、激光干涉、納米光刻、生物科技、光通信、納米測量、顯微操作、納米壓印等。未來納米定位系統的設計據相關研究表明可以考慮以下幾點：
(1)定位精度。上述的驅動機構都可以獲得優于10nm的定位分辨率，其中扭輪摩擦驅動的分辨率可以達到埃級。直線電機和靜壓導軌組成的定位系統，由于可以獲得其他系統所無法得到的超高速，是未來高速超精密加工的發展方向。
(2)簡單的驅動機構。雙重驅動機構雖然在超精密定位中具有廣泛的應用，然而其驅動系統和控制系統都是冗余的；靜壓絲杠則需要附加的靜壓設備和衰減設備；直線電機直接驅動，機構zui為簡單。
(3)簡單成熟的控制系統。直線電機和靜壓絲杠驅動系統除了需要位置控制外，還需要直線電機的電磁控制或靜壓導軌的間隙控制等，使得總體控制結構非常復雜，加大了實踐應用的難度。滾珠絲杠驅動系統控制技術成熟，機械結構自身具有衰減能力，結構簡單，在高增益PID控制的情況下可以實現單步大范圍的納米定位，普及應用的基礎。
(4)良好的經濟性、易操作性和易維護性。在這些方面，滾珠絲杠驅動系統具有其他系統不可比擬的*性，如果使用滾珠導軌支撐和光柵尺進行測量反饋，對環境要求低，是實用的定位系統。