疊堆壓電陶瓷元件是如何加工的?
來源:上海納動納米位移技術有限公司
2017年11月25日 16:31
疊堆壓電陶瓷元件提供納米級精密定位和微掃描,zui大行程可達110Um,這款物鏡定位器尺寸小,響應頻率高,非常適用于需要納米級分辨率的高精度定位應用中。優異的平行四邊形設計確保了平行運品受干擾內部傳感裝置確保了該系統的重復性。分離螺紋適配器,方便快速安裝物鏡,這些轉接器適用于所有標準的南朋,使其具有很好的通用性。
干壓成型后的坯件,需要通過高溫燒結才能成瓷。燒結是顆粒重排靠近,使材料致密化以及晶粒生長的過程,過高的燒結溫度使陶瓷晶粒生長過大或組織機構不均勻,而燒結溫度過低則會導致晶粒發育不*,這些都會導致PZT壓電陶瓷元件的壓電性能受到影響。在工藝上,我們通常采用計算收縮率的方式來判斷燒結情況。實驗表明,采用手工造粒料成型的坯件,燒結后收縮率一般為12%~13%,采用噴霧造粒料成型的坯件,燒結后收縮率一般為13%~14%。一般來說,燒結溫度適當的瓷件,收縮率正常,瓷件間不粘結或只有輕微粘結,瓷件折斷后,可看到斷面各處均勻致密,平坦而有光澤;而燒結溫度過低的瓷件,收縮率小,無粘結,密度低,顏色淺,易折斷,斷面粗糙;燒結溫度過高的瓷件,收縮率大,出現變形和粘結現象,顏色深,易折斷,斷面粗糙或很亮。
在工藝上,機械加工也是*的一個環節,燒結后瓷件外表面粗糙,有些出現略微失鉛的現象,所以通過機械加工,磨削掉表面一層,既提高粗糙度,又使瓷件密度更加均勻,通過機械加工還可以使所需瓷件外形尺寸更加,滿足各種精度要求,通過機械加工還可以得到特殊形狀(如梯形)的壓電陶瓷瓷件。