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維護保養：
1、真空泵長期工作應注意泵油是否充足，泵內存油不得低于油標中心，油量不足將會影響工作性能，甚至損壞零件。
2、油品是否清潔，對泵的真空度有影響。一般用泵抽除干燥氣體約600~1000小時應進行更換新油。
3、更換新油先開泵運轉30分鐘，使油變稀，旋開放油塞使泵腔內污油全部放出，再從加油孔加入一定新油，啟動電機
運轉數秒鐘，對泵內部進行清洗，操作2~3次，達到清潔后放凈污油，裝上放油塞，再從加油孔注入新泵油至油窗
中心，旋上加油塞。
4、泵油采用HFV-1真空泵油，注意不得低于中心，但亦不能高出整個油窗，否則會產生噴油現象。
5、不同種類和牌號的真空泵油，不可混合使用。
注意事項：
1、在開機前，操作者要首先熟悉操作說明，嚴格按照儀器的開機和關機步驟進行操作。
2、嚴禁將探槍放在地上，探槍孔不得被灰塵污染，以免影響儀器的性能。
3、探槍和主機不得拆卸，以免影響儀器正常工作。
4、儀器探頭已調好，請勿自行調節。儀器是否正常以自校格數為準。
5、注意真空泵的維護保養，注意電磁閥是否正常動作，并檢查電磁閥的密封性。因為真空泵和電磁閥的工作是否正常，將影響儀器的使用。
6、給真空泵換油時，儀器不得帶電（要拔掉電源線），以免發生觸電事故。
7、儀器在運輸過程中嚴禁倒置，不可劇烈振動。
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