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HED型Wafer/ESD/TCP試驗機阪和電子工業

Wafer ESD測試儀型號：HED-W5000M-WFC

在集成電路中安裝的保護電路的動作參數的收集和分析中，TLP測試裝置發揮了很大的作用，但是在半導體的微細化進程中，為了提高ESD抗藥性，需要進一步的保護電路的開發速度。

HED-W5000M-WFC測試儀可以觀測實際加入設備的ESD波形，因此在保護電路參數的收集、分析、開發速度的縮短上發揮了很大的作用。

TCP試驗機

型號：HED-5000VF

裝備著的測試模式。設置了施加脈沖寬度100ns/200ns的正常測試和將施加幅度縮小到1ns的VFTTLP（Very Fast TLP）的測試模式。

對ESD耐性的HBM/CDM測試的驗證有效。可以通過標準裝備的示波器確認設備引腳的入射波和來自設備自旋的反射波。

此數據將被保存，并在監視器中顯示。用監視器可以跟蹤入射波/反射波的合計值、坐標回特性、Vf/Im測量的泄露測量值等。

保存的示波器數據允許高自由度運算。例如，對于改變了工序的晶體管的ON電壓和保護電路中流通的大電流值，可以通過重疊跟蹤來確認差分。

此外，還可與半自動程序等連接，使TLP測試自動化。

因為可以進行Wafer上施加的銷和芯片之間的自動移位、自動測量，所以測試效率大大提高。

型號：HED-5000-HC

現在，設備對于高集成、高頻、高耐壓的需求正在提高。

LD/LED ESD試驗機

應用→測量→自動重復獲取施加電壓的周期數據。激光二極管的輸出電平（功率）的觀測由光電二極管進行。顯示全部施加后的光輸出特性（IL），可以看到破壞的過程。2波長的激光二極管的測量一次就可以。具有泄露（Vf/Im，Im/Vf）測量功能，同時可以進行Vf/Im，Im/Vf測量。

隨著設備的精細化，LSI的電源電壓有下降的傾向。伴隨著這個，活動也有下降的傾向，作為試驗項目被重視。

另外，幾乎所有的LSI都是將I/O端子發出的噪音集中到電源和GND上的構造，因此很有可能引起電源/GND的急劇變動，因此確認其影響很重要。

以前，在ESD槍上施加脈沖的情況下，即使以正極性施加，LSI針上出現的對電源電壓的噪聲也會產生振動波形。

特別是在正方向和負方向的誤動作的斷點不同的情況下，盡管是正極性施加，但也有可能發生超過負方向的斷點而導致的誤動作。在HIT-5000中，通過加入矩形波，可以分別對正方向和負方向進行評價。

靜電可視化監視器

HSK-5008L靜電可視化監視器

手持式靜電可視化監視器。

配備8個線性傳感器，可輕松確認靜電的帶電狀態。

與PC連接后，可使用軟件確認靜電帶電狀態，確認數值數據，保存測量數據。

HSK-5064靜電可視化監視器

手持式靜電可視化監視器。

64個傳感器可以同時和高速測量100mm×100mm的寬區域。

本產品不會錯過區域內的帶電部分，還可以實時監控靜電的帶電形狀和經過時間的帶電動作。

與HSK-5008L相同，可使用軟件進行數據保管和再生。

HSK-V5000B靜電可視化監視器

安裝型酒吧類型的靜電可視化監視器。

安裝在測量對象物的附近，可以以面為單位監視時常帶電量，并且可以瞬間捕捉到大范圍的帶電量，是劃時代的裝置。（例）膠片、液晶面板、紙等

根據您的要求，可以靈活地定制測量范圍、傳感器的數量等。

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