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一、硅晶片真空箱箱體規格
型號 | 內箱尺寸（W*H*Dmm） | 外箱尺寸（W*H*Dmm） | 真空泵 | 電源 |
HE-WD-300 | 300*300*300 | 1000*1580*920 | 4升 | AC 220V 50Hz 3.5KW |
HE-WD-400 | 400*400*400 | 1000*1580*920 | 4升 | AC 220V 50Hz 4.5KW |
HE-WD-500 | 500*500*500 | 1000*1580*920 | 4升 | AC 220V 50Hz 5.5KW |
HE-WD-600 | 600*600*600 | 1000*1580*920 | 4升 | AC 380V 50Hz 9KW |
HE-WD-700 | 700*700*700 | 1000*1580*920 | 8升 | AC 380V 50Hz 12KW |
HE-WD-800 | 800*800*800 | 1100*1680*1050 | 8升 | AC 380V 50Hz 15KW |
HE-WD-1000 | 1000*1000*1000 | 1350*1620*1300 | 8升 | AC 380V 50Hz 20KW |
箱體結構：連體式，真空泵置于機臺下部；
隔層：內分二層，配網板二塊，可活動抽出；
面板安裝：控制面板安裝于機臺下方（如設備外觀圖）；
開門方式：單由右至左開啟;
可視窗：門上帶可視窗，規格W250×H300mm；
內箱材料為：304#不銹鋼工業板；內箱加強處理，抽真空不變形；
保溫材質為：耐高溫巖棉，保溫層厚100mm，保溫效果好；
二、硅晶片真空箱控溫系統
1、控制為PID數顯儀表；
2、加熱體為耐高溫發熱管；
3、溫度范圍：常溫+30℃～200℃
4、控制精度：±0.5℃
5、顯示精度：0.1℃
6、箱內溫度均勻度：±5℃%(無真空時，空箱測試)
7、升溫速率：RT→100℃（約30分鐘）
三、真空系統
1、本機采用高密封性的硅膠密封條保障整機的密封性；
2、采用數顯示式真空表直接顯示內箱真空度，讓你即時了解箱體內的真空狀態，真空度達到0－-0.1Mpa (即:100pa真空度)
3、真空度：0～-101KPa（數顯式負壓真空表，顯示相對壓力值）
4、真空表顯示精度：0.1KPa
5、真空保壓泄漏率：約0.8KPa每小時
四、充氮氣裝置
1、調壓閥：控制氮氣壓力，正常使用下氮氣壓力調為2.5公斤左右；
2、面板流量計：控制氮氣進入箱內的大小，量程為10L/min-60Lmin；
3、氮氣管道進入到箱內正后面，調壓閥處預留8mm快插氣管接口；
4、注：氮氣由用戶自備。
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