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深圳市科銳詩汀科技有限公司
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EDWARDS復合渦輪分子泵

參  考  價面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號EXT556H

品       牌Edwards/愛德華

廠商性質代理商

所  在  地深圳市

更新時間:2025-05-27 15:30:23瀏覽次數:5602次

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產地 進口 加工定制
EXT556H EDWARDS復合渦輪分子泵BOC Edwards EXT泵適用于除zui苛刻的半導體應用和科學應用(這些領域可使用STP系列泵)以外的任何領域。EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷軸承和磁懸浮軸承的組合形式。陶瓷軸承與傳統軸承相比具有更輕、更硬和更平穩的優點,以及壽命長、小振動的優點。由于軸承滾珠和軸承座使用了不同材料,防止了微小凹陷而提高可靠性。

EXT556H EDWARDS復合渦輪分子泵

性能特點

高臨界前級壓力。

高體積流速。

* 抽速快。

多級Holweck分子拖曳結構,對輕氣體產生高壓縮比。

極限真空<10E-10 mbar 。

復合軸承。

免維護。

EXT556H EDWARDS復合渦輪分子泵

技術數據


主入口法蘭                                      DN160ISO-K


出口法蘭

DN25NW

放氣口

1/8 inch BSP

吹掃凈化口

1/8 inch BSP

入口泵速*



N2

540 l/s

He

580 l/s

壓縮比

N2

>10E10

He

10E8

前級泵(推薦)

RV12

zui高入口壓力( N2, He)**

水冷(水溫15°C)

2 x 10E-3 mbar

空冷(大氣溫度30°C)

1 x 10E-3 mbar

空冷(大氣溫度35°C)

5 x 10E-4 mbar

額定轉速

50000 rpm

轉速達到90%所需時間 **


EXC250

5 min

EXC300

6.5 min

EXDC160

8 min

冷卻方式

空冷/水冷

大氣溫度(空冷)

0-35 °C

推薦冷卻水流速(水溫15 °C)

15 l/h

水溫范圍

10-20 °C

入口法蘭zui高溫度

100 °C

工作姿態

垂直

噪音(1m處)

<60 dB(A)

zui大磁場

軸向

<7 mT


徑向

<3 mT

靜止功耗

35 W

   * 沒安裝入口篩網。安裝篩網時,泵速下降約20%。
   ** 前級壓力<0.3 mbar,大于此轉速下降。

EXT556H EDWARDS復合渦輪分子泵

安裝尺寸


A 入口ISO100

B 入口ISO160

C 放氣口

D 接地

E 吹掃凈化口

F 前級泵口

G 電連接

H 底部安裝孔(8個)/橡膠腳(4個)


EXT556H渦輪分子泵特性曲線



訂貨信息


描述

貨號

EXT556H 復合渦輪分子泵 DN160ISO-K

B777-51-000

EXT556H 復合渦輪分子泵 DN160CF

B777-52-000

EXT556H 復合渦輪分子泵 DN160ISO-K (馬氏體外殼)

B777-57-000

EXT556H 復合渦輪分子泵 DN160CF (馬氏體外殼)

B777-58-000

EXT556H 復合渦輪分子泵 DN160ISO-K (精美入口篩網)

B777-61-000

EXC250E

D396-35-000

EXC250L

D396-36-000

EXC300

D396-14-000



















































































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