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LSP500皮拉尼標準真空計

時間:2025-1-3閱讀:560
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LSP500皮拉尼標準真空計


皮拉尼標準真空計 LSP500 是 LINXON 品牌下最新的真空計產品,LSP500 基于熱傳導(熱損失)這一經過驗證的物理原理工作,這也是幾

十年來廣泛使用的真空測量原理。LINXON LSP500 非常適合所有需要在 5 x 104 至 1000 毫巴范圍內進行可靠測量的真空應用。

LSP500 憑借精心設計的傳感器技術、不銹鋼法蘭、可靠的電子單元以及引人注目的緊湊型鋁制外殼,其適用于眾多真空應用。如果在長時間工作

后需要更換傳感器單元,該傳感器單元可以在現場輕松更換。這突顯了新款 LSP500 的用戶友好性和成本效益。

技術參數


  • 測量范圍:通常為至 1000 毫巴,可滿足多種真空環境下的測量需求145

  • 精度:在至 100 毫巴范圍內,精度為讀數;在毫巴和 100 至 1000 毫巴范圍內,精度為讀數46

  • 分辨率:一般可達到讀數6

  • 重復性:在至 100 毫巴范圍內,重復性為讀數46

  • 輸出信號:電壓范圍為 0 至 + 10.3V,測量范圍為 + 1.9 至 + 10V,電壓與壓強的關系為對數46

特點


  • 結構緊湊:采用緊湊的鋁制外殼設計,體積小巧,便于安裝和使用,可在空間有限的設備或系統中靈活安裝34

  • 傳感器技術先進:精心設計的傳感器技術,能夠提供準確可靠的測量結果,且傳感器單元可作為備件提供,便于現場更換,減少設備停機時間。

  • 兼容性好:兼容 EMC 并通過 CE 認證,可與多種設備和系統兼容,確保在不同的工作環境中穩定運行。

使用方法


  • 安裝:根據實際需求選擇合適的安裝位置和連接方式,確保真空計與被測系統之間的連接緊密、無泄漏。常見的連接方式有 DN 16 ISO-KF、DN 16 CF-R、1/8" NPT 等46

  • 校準:在使用前需要進行校準,確保測量結果的準確性。校準方法通常是將真空計與已知標準真空度的設備進行對比,調整真空計的參數使其測量結果與標準值一致。

  • 測量:連接好電源和被測系統后,打開真空計電源開關,等待設備穩定后即可進行測量。在測量過程中,可根據需要設置測量范圍、分辨率等參數。

  • 數據記錄與分析:測量完成后,可將測量數據記錄下來,以便進行后續的分析和處理。一些先進的 LSP500 皮拉尼標準真空計還可以與計算機或其他數據采集設備連接,實現自動數據采集和分析。

應用場景


  • 半導體制造:在半導體芯片制造過程中,需要對真空鍍膜、刻蝕等工藝中的真空度進行精確測量和控制,LSP500 皮拉尼標準真空計可滿足這一需求。

  • 真空鍍膜:在光學薄膜、電子薄膜等真空鍍膜過程中,準確控制真空度對于薄膜的質量和性能至關重要,該真空計可實時監測真空度,確保鍍膜工藝的穩定性和重復性。

  • 科研實驗:在物理、化學、材料等領域的科研實驗中,常常需要對真空環境進行精確控制和測量,LSP500 皮拉尼標準真空計可作為一種可靠的真空測量工具,為實驗提供準確的數據支持。

維護與保養


  • 定期清潔:使用干凈的軟布或棉球蘸取適量的無水乙醇,輕輕擦拭真空計的外殼和傳感器表面,去除灰塵、油污等雜質。

  • 檢查連接部位:定期檢查真空計與被測系統之間的連接部位,確保連接牢固、無泄漏。如發現連接部位松動或有泄漏現象,應及時擰緊或更換密封件。

  • 校準維護:按照規定的周期對真空計進行校準,一般建議每 6 個月至 1 年校準一次。如發現測量結果偏差較大或不穩定,應及時進行校準或維修。

  • 避免過載和沖擊:在使用過程中,應避免真空計受到過載壓力和沖擊,以免損壞傳感器和內部電路。如被測系統的壓力突然變化較大,應及時采取措施保護真空計。


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