前載式雙探頭

      前載式結構易于插入晶體架. 采用機械裝配代替焊接, 必要時可現場方便地更換
部件. 探頭可單個訂購或訂購探頭 / 法蘭組合, 可選焊接的或直口接頭裝配的結構.
探頭配置

     前載式雙探頭的標準配置中水管與晶片平行. 當*晶體監測
沉積速率時, 氣動晶體擋板保護備份晶體. 擋板是下拉式結構,
便于更換晶體. 為有效地消除 RF 干擾, 暴露的晶體電極是全部接地的.

    法蘭
INFICON 提供兩種法蘭, 1" 螺紋法蘭或2¾" （CF40） ConFlat® 法蘭法蘭.
按用戶要求可提供 KF40 法蘭.

    法蘭連接
前載式雙探頭可訂購與法蘭的組合. 探頭 / 法蘭連接可采用直口接頭或焊接 （當與 1" 螺紋法蘭組合時）. 如需焊
接連接, 必須在訂購前填寫 INFICON 提供的一個探頭長度規格表. 直口接頭易調整, 無釬焊或焊接的要求. 法蘭
可沿著管長移動, 對于 "E" 長度探頭, 在真空系統內的長度可在 20.3 厘米至 71.1 厘米 （8"- 28"） 的范圍內調整,
對于 "G" 長度探頭. 一旦確定所需長度, 直口接頭可用手指擰緊管密封件.

優 點
■ 雙晶體
■前載式晶體支架
■晶體擋板
■ 易安裝
■ 可提供:
- 2.54 厘米（1"） 螺紋法蘭
- CF40 法蘭
■ 如訂購直口接頭的, 可調節長度
■ 如訂購直口接頭的,無需釬焊或焊接至法蘭
■ 可按客戶要求提供特定長度焊接的探頭/ 法蘭組合.