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石英晶體膜厚控制儀: INFICON晶控探頭維修配件 MAXTEK INFICON

HTC真空閥: APC真空鐘擺閥 HTC真空蝶閥

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真空開關及真空饋入件: 瑞士INFICON公司

HTC 真空轉接頭: HTC 管狀直通型轉接頭 HTC 圓錐形大小頭轉接頭 HTC KF轉其他形式轉接頭

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四極質譜分析儀: 瑞士INFICON四極質譜

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HTC真空閘閥: HTC手動－高真空閘閥 HTC手動-超高真空閘閥 HTC氣動-高真空閘閥 HTC氣動-超高真空閘閥

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高精度線切割機

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壓電閥及自動壓強控制儀: 瑞士INFICON氣體壓強控制儀美國HEY壓電閥

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XT100,XT200,XT300 四極質譜殘余氣體分析儀

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XT100,XT200,XT300美國EXTORR四極質譜殘余氣體分析儀

特點及應用：

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•可靠，方便

•在線原位分析真空環(huán)境及工藝氣體

•對真空系統(tǒng)檢漏
•優(yōu)化工藝過程參數(shù)，提高鍍膜產(chǎn)品質量

•定性或定量分析監(jiān)測濺射鍍膜反應工藝過程中真空室內(nèi)的氣體分壓強
在工藝中的效果

•改善質量

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