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深圳市科銳詩汀科技有限公司資料大小
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·新型EM在PVD工藝壓強下工作,提供更快速、清晰的數據收集和免除FC至EM的轉換,簡化數據的解譯過程。 | |
·新型加長的四極桿場可提高低質量范圍的過濾能力,提高質譜儀分辨同位素的靈敏度,從而改善氫的監測靈敏度。 | |
Transpwctor XPR3是新一代的高壓強四極場工藝氣體分析儀。它研發于先前INFICON系統成功的基礎上,在物理相汽沉積(PVD)檢測中具有無比高的靈敏度、度和靈活性。一系列技術上的突破使輕便型Transpwctor XPR3的工作范圍從20耗乇至超高真空,無需大型負責的壓強轉換設備。 | |
TRANSPECTOR XPR3的應用 | |
·PVD工藝模塊 | |
·預清洗模塊 | |
·Non-cluter PVD設備 | |
·Clamped的除氣模塊 |
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