單晶爐需要控制的方面 單晶爐是一種在惰性氣體環境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。
一、晶體直徑
二、溫度
三、原料
四、泄漏率，氬氣質量等
深圳市利方達科技有限公司
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