德國SPS-POLOS旋涂機(jī)SPIN200i為小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)

POLOS 為半導(dǎo)體、生命科學(xué)、食品、實(shí)驗(yàn)室和制藥行業(yè)提供設(shè)備，特別是為大學(xué)、研發(fā)機(jī)構(gòu)和小型生產(chǎn)設(shè)施提供支持。我們的產(chǎn)品組合包括用戶友好和高度耐用的系統(tǒng)，主要應(yīng)用于光刻和配置工藝領(lǐng)域。POLOS 公司成立于 2003 年，第一條產(chǎn)品線是單晶片旋轉(zhuǎn)涂層系統(tǒng)。

主要產(chǎn)品：

SPS-POLOS旋涂機(jī)

SPS-POLOS勻膠機(jī)

SPS-POLOS光刻機(jī)

SPS-POLOS Spin200i旋涂機(jī)

POLOS Spin200i 是一種多功能、高質(zhì)量的基材旋涂機(jī)，由 PTFE 或 NPP 制成。它專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)。臺(tái)式型號(hào)可手動(dòng)或自動(dòng)（可選）分配化學(xué)品。

適用于鍍膜、清潔、沖洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI 及其他工藝。

適用于最大 8 英寸（200 毫米）晶圓

適用于最大 6 英寸 x 6 英寸（150 毫米）基板

材料 天然聚丙烯 (NPP)

12.000 RPM（取決于基底/卡盤）

高加速度和高精度

手動(dòng)化學(xué)品分配

CW 和 CCW 旋轉(zhuǎn)

帶可定制圖標(biāo)的彩色觸摸屏

USB 端口

型號(hào)示例：

SPS-POLOS旋涂機(jī)SPIN150X

SPS-POLOS旋涂機(jī)SPIN200i

SPS-POLOS旋涂機(jī)SPIN4000A

SPS-POLOS旋涂機(jī)SPIN5000A

德國SPS-POLOS旋涂機(jī)SPIN200i為小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)