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孚光精儀(中國)有限公司


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高精度重型六軸并聯定位平臺

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產品型號FPSYM-Zonda

品       牌

廠商性質經銷商

所  在  地

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更新時間:2024-05-04 08:36:21瀏覽次數:338次

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聯系人:陳小姐 (銷售)

產品簡介

高精度重型六軸并聯定位平臺是高負載六自由度定位平臺hexapod,適合高精度六自由度定位應用

詳細介紹

高精度重型六軸并聯定位平臺是高負載六自由度定位平臺hexapod,適合高精度六自由度定位應用。
高精度重型六軸并聯定位平臺ZONDA六足是高性能6DOF定位系統,滿足高精度、穩定性、精度、重載和大行程的應用。
高精度重型六軸并聯定位平臺六吊艙設計用于定位高達400公斤的有效載荷,分辨率僅為0.1µm,在XY方向為400毫米,在Z方向為300毫米,在Rx、Ry和Rz三個旋轉方向為40°時提供了出色的行程。
高精度重型六軸并聯定位平臺ZONDA六足具有的精度和熱穩定性特性,這要歸功于集成了具有非常低CTE(熱膨脹系數)的Invar組件、作為致動器標準集成的線性編碼器以及特別剛性的接頭設計。
高精度重型六軸并聯定位平臺特色
高穩定性
負載高達400kg
大行程
可用于真空環境
高精度重型六軸并聯定位平臺典型應用
儀器科學與技術
航空航天
光學
計量
天文學
半導體等

高精度六軸并聯定位平臺參數
行程范圍Tx,Ty:+/-200mm
行程范圍:Tz: +/-150mm
行程范圍:Rx,Ry:+/-20度
行程范圍:Rz: +/-20度
分辨率Tx,Ty,Tz: 0.1um
分辨率Rx, Ry,Rz: 0.5urad
重復精度Tx,Ty,Tz: +/-0.25um
重復精度Rx,Ry,Rz:+/-1urad
速度Tx, Ty: 0.8mm/s
速度:Tz: 0.4mm/s
速度Rx Ry: 0.2度/秒
速度Rz : 0.4度/秒
負載: 400kg
剛度 XY:8.5N/um
剛度Z: 30N/um
工作溫度:0-75℃
位移平臺: dia720mm
中間通孔:dia 640mm
自身重量:99kg
線纜長度:3m
供電要求:110-240VAC

關鍵詞:標準

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