單晶硅壓力傳感器型號

產品特點

■ 雙膜片過載結構

■ 高精度，穩定性±0.05%F.S./年  

■ 可選多種隔離膜片材質，滿足防腐要求

 單晶硅壓力傳感器型號

技術參數

供       電: 恒壓（3VDC-5VDC）

滿點輸出電壓：≥100mV@3.3VDC供電

零點溫度影響：±0.05%F.S./℃

溫度滯后: ＜±0.1% F.S. （10kPa ≤敏感元件量程 ≤1MPa）

              ＜±0.5% F.S. （敏感元件量程<10kPa）

壓力滯后: ＜±0.05% F.S.

*漂移: ＜±0.05% F.S./年

非線性誤差：＜±0.3% F.S. （10kPa ≤敏感元件量程 ≤1MPa）

                   ＜±1.3% F.S. （敏感元件量程 ≤10kPa）

靜壓影響:＜±0.1% F.S. /10MPa（10kPa ≤敏感元件量程 ≤1MPa）

             ＜±0.15% F.S. /10MPa（敏感元件量程 ≤10kPa）

膜片材質: 316L/ 哈氏合金 C

接線盒連接：M27X2外螺紋

過程連接：H型結構，雙法蘭，過程連接內螺紋1/4-18NPT，法蘭后端自帶排液排氣閥，316不銹鋼

使用環境：

環境溫度：  (-20~70)℃  

溫度補償：  (0~50)℃  

相對濕度：  <95%  

大氣壓力：  (86~106)kPa  

存儲溫度：  (-40~85)℃

工作原理
傳感器模塊采用全焊接技術，內部擁有一個整體化的過載膜片，一個壓力傳感器和一個溫度傳感器。溫度傳感器作為溫度補償的參考值。壓力傳感器的正壓側與傳感器膜盒的高壓腔相連，傳感器的負壓側與傳感器膜盒的低壓腔相連，壓力通過隔離膜片和填充液，傳遞給傳感器內的硅芯片，使壓力傳感器的芯片的阻值發生變化，從而導致檢測系統輸出電壓變化。該輸出電壓與壓力變化成正比，再由適配單元和放大器轉化成一標準化信號輸出。