1.什么是質(zhì)量流量計(jì)？什么是質(zhì)量流量控制器？
   大家可能會(huì)經(jīng)常看到，有些地方說(shuō)質(zhì)量流量計(jì)，有些地方說(shuō)質(zhì)量流量控制器。其實(shí)，這是有區(qū)別的。
     質(zhì)量流量計(jì)，即Mass Flow Meter（MFM ）， 是一種精確測(cè)量氣體流量的儀表，其測(cè)量值不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補(bǔ)償。
     質(zhì)量流量控制器， 即Mass Flow Controller （MFC ），不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。質(zhì)量流量控制器就是一個(gè)穩(wěn)流裝置，是一個(gè)可以手動(dòng)設(shè)定或與計(jì)算機(jī)聯(lián)接自動(dòng)控制的氣體穩(wěn)流裝置。
     簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，質(zhì)量流量計(jì)只測(cè)量不控制。而質(zhì)量流量控制器，則帶有控制閥門(mén)，既可以測(cè)量也可以控制氣體流量大小。

2.怎么理解質(zhì)量流量計(jì) / 質(zhì)量流量控制器的流量單位？
     氣體質(zhì)量流量單位一般以SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute，每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升）和SLM（Standard Liter per Minute，每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升）來(lái)表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。這是這種儀表和其它流量計(jì)的重要區(qū)別，也是SCCM﹑SLM 不同于mL/min﹑L/min 之處。      
     對(duì)多數(shù)用戶而言，體積流量的表示方法很符合習(xí)慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位 時(shí)間內(nèi)流過(guò)介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min），這個(gè)要求是很容易實(shí)現(xiàn)的。因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數(shù)，可以方便地查到，因而簡(jiǎn)單地做一個(gè)乘法（以密度乘以若干SLM）即可實(shí)現(xiàn)。所以說(shuō)，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量

浮子。浮子流量計(jì)，又稱(chēng)轉(zhuǎn)子流量計(jì)、金屬轉(zhuǎn)子流量計(jì)、成豐玻璃轉(zhuǎn)子流量計(jì)，是變面積式流量計(jì)的一種。在一根由下向上擴(kuò)大的垂直錐管中，圓形橫截面的浮子的重力是由液體動(dòng)力承受的，從而使浮子可以在錐管內(nèi)自由地上升和下降。浮子流量計(jì)是僅次于差壓式流量計(jì)應(yīng)用范圍廣的一類(lèi)流量計(jì)，特別在小、微流量方面有舉足輕重的作用。

(6) 可靠性、精度等級(jí)不高(一般為1.5～2.5級(jí)左右)，重復(fù)性差。(7) 使用壽命短(一般精度只能保證一年)。(8) 超聲波流量計(jì)是通過(guò)測(cè)量流體速度來(lái)確定體積流量，對(duì)液體應(yīng)該測(cè)量它的質(zhì)量流量，儀表測(cè)量質(zhì)量流量是通過(guò)體積流量乘以人為設(shè)定的密度后得到的，當(dāng)流體溫度變化時(shí)，流體密度是變化的，人為設(shè)定密度值，不能保證質(zhì)量流量的度。只能在測(cè)量流體速度的同時(shí)，又測(cè)量了流體密度，才能通過(guò)運(yùn)算，得到真實(shí)質(zhì)量流量值。(9) 價(jià)格較高。

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(6) 可靠性、精度等級(jí)不高(一般為1.5～2.5級(jí)左右)，重復(fù)性差。(7) 使用壽命短(一般精度只能保證一年)。(8) 超聲波流量計(jì)是通過(guò)測(cè)量流體速度來(lái)確定體積流量，對(duì)液體應(yīng)該測(cè)量它的質(zhì)量流量，儀表測(cè)量質(zhì)量流量是通過(guò)體積流量乘以人為