臭氧消毒設備是使用定頻率的高壓電流制造高壓電暈電場，使電場內或電場周圍的氧分子發生電化學反應，從而制造臭氧。這種臭氧消毒機具有技術成熟、工作穩定、使用壽命長、臭氧產量大(單機可達1Kg/h)等優點。
臭氧具有毒性，空氣中臭氧濃度達到0.1mg/m3時就對人的眼睛、鼻、喉及呼吸道產生刺激作用在0.01-0.02mg/m3時可聞到臭味;因此在臭氧設備間應設置通風設備，萬發生泄漏可及時排出臭氧。臭氧比空氣重，通風機應安裝在靠近地面處。
臭氧輸送管道及臭氧設備必須密閉，防止泄漏
在設備運行之前應檢查是否漏氣，運行中旦發生泄漏應立即關掉臭氧發生器電源，打開排風扇排出臭氧，再進行檢修。
有效臭氧發生器為高壓放電設備，應設置接地裝置，接地電阻應小于4歐姆。操作應嚴格按照設備使用說明書及有關電器使用要求進行。
必須設置尾氣處理或尾氣回收裝置，反應后排出的臭氧尾氣必須經過分解破壞或回收利用，達到排放標準，否則將污染大氣。
采用臭氧消毒的污水，預處理是十分重要的，往往由于預處理程度不夠而影響臭氧消毒的效果，污水處理程度要經過技術經濟比較確定。污水消毒建議是經過二級處理后再用臭氧消毒。這樣可以減少臭氧的投加量，降低設備投資費用和運行費用。
