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MADlink 100微孔徑快速測(cè)量?jī)x

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本產(chǎn)品是一款專門應(yīng)用于快速測(cè)量薄片上的微孔直徑的光學(xué)儀器,有效解決了傳統(tǒng)方法光學(xué)采用顯微圖像處理技術(shù)和電子顯微鏡都無(wú)法實(shí)現(xiàn)對(duì)薄片微孔孔徑全檢的技術(shù)難題

      本產(chǎn)品是一款專門應(yīng)用于快速測(cè)量薄片上的微孔直徑的光學(xué)儀器,有效解決了傳統(tǒng)方法光學(xué)采用顯微圖像處理技術(shù)和電子顯微鏡都無(wú)法實(shí)現(xiàn)對(duì)薄片微孔孔徑全檢的技術(shù)難題。其特點(diǎn)是對(duì)薄片全域范圍(面積 5.0 x 4.5mm)的所有微孔只需一次抓拍,即可輸出薄片上全部微孔的孔徑特征、孔徑分布和微孔位置分布圖。

圖1:微孔片樣品圖

        薄片微孔徑是指在平板薄片上的尺寸達(dá)微米甚至亞微米大小的小孔的直徑。

       普通的光學(xué)顯微鏡受到光學(xué)衍射現(xiàn)象的限制,分辨力只能達(dá)到0.5μm左右,因此用普通的光學(xué)顯微鏡測(cè)量1μm左右的微孔,誤差顯然過(guò)大;況且此時(shí)只能用40倍或以上的顯微物鏡,視場(chǎng)大小只能達(dá)到0.2 mm或者更小。對(duì)于制作在薄片上、位置分布范圍達(dá)數(shù)毫米的微孔片,不可能做到全域一次抓拍。即便通過(guò)分區(qū)掃描測(cè)量也許耗費(fèi)大量時(shí)間,且難免出現(xiàn)漏檢問(wèn)題。如果使用低倍顯微物鏡做全域拍攝測(cè)量,例如 2倍,則由于低倍物鏡的數(shù)值孔徑很小(2 倍物鏡的數(shù)值孔徑只有0.06),孔徑限制造成的衍射光斑(愛里斑 )直徑可達(dá)到10μm左右,用這樣的鏡頭觀察數(shù)十微米量級(jí)的微孔,會(huì)產(chǎn)生顯著的模糊,而對(duì)1μm量級(jí)的微孔,普通的光學(xué)顯微鏡的圖像已經(jīng)不能反映孔的大小。所以,基于光學(xué)顯微放大和數(shù)字圖像處理技術(shù)的測(cè)量系統(tǒng)難以完成這類微孔徑的全域快速測(cè)量。電子顯微鏡雖然具有更好的景深和分辨能力,但單次測(cè)量視場(chǎng)更小,使用成本也十分高昂,不太適合廣泛應(yīng)用在薄片微孔徑的快速測(cè)量。

 

圖2:工作原理圖

 

       本儀器采用真理光學(xué)團(tuán)隊(duì)研發(fā)的光通量微孔徑測(cè)量法(申請(qǐng)?zhí)枺篊N.2),利用透過(guò)微孔的光通量與孔面積成正比的關(guān)系,如下圖示,本有效規(guī)避了光學(xué)顯微成像方法中的(成像透鏡)光學(xué)衍射對(duì)微孔徑尺寸測(cè)量準(zhǔn)確度的制約。

圖3:光通量--孔徑曲線關(guān)系圖

 

       根據(jù)圖像傳感器檢測(cè)得每個(gè)孔的光通量值計(jì)算微孔孔徑,同時(shí)對(duì)微孔本身的光學(xué)衍射造成的光能損失進(jìn)行修正,從而實(shí)現(xiàn)微孔直徑的全域一次抓拍即可快速完成對(duì)區(qū)域內(nèi)全部微孔孔徑的測(cè)量,最后輸出微孔徑分布曲線和空間位置分布圖。

圖4:典型分析測(cè)試報(bào)告

 

技術(shù)指標(biāo)

型號(hào)

MADLink 100

測(cè)量原理

微孔光通量法

測(cè)量范圍

0.3 ~ 100 μm

視場(chǎng)面積

5.0 x 4.5 mm

最小孔間距

孔徑+10μm

重復(fù)性

優(yōu)于±1%

測(cè)量時(shí)間

< 1min

系統(tǒng)重量

6Kg

系統(tǒng)尺寸

250mmx220mmX510mm

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