【儀表網(wǎng) 發(fā)明科技控】我國研發(fā)薄氣壓計(jì)，基于業(yè)界先進(jìn)的單芯片集成MEMS技術(shù)，使其成為一款針對(duì)消費(fèi)電子的CMOS-MEMS單芯片集成氣壓計(jì)。
　　

　　光學(xué)MEMS技術(shù)自上世紀(jì)80年代左右起步以來，基于MEMS技術(shù)而研制的一大批光學(xué)儀器，為光學(xué)產(chǎn)業(yè)及儀器儀表產(chǎn)業(yè)發(fā)展帶來了新的發(fā)展動(dòng)力和機(jī)遇。
　　
　　近日又有一款基于MEMS技術(shù)的產(chǎn)業(yè)于國內(nèi)誕生，中國科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所與其參股公司麗恒光微電子科技有限公司共同宣布，聯(lián)合推出薄氣壓計(jì)PS2606。
　　
　　氣壓計(jì)PS2606是一款針對(duì)消費(fèi)電子的CMOS-MEMS單芯片集成氣壓計(jì)，整個(gè)傳感器厚度僅為0.65毫米。產(chǎn)品以業(yè)界先進(jìn)的單芯片集成MEMS技術(shù)，具有測(cè)量度高、系統(tǒng)穩(wěn)定性好、抗干擾能力強(qiáng)、低功耗、體積小等優(yōu)點(diǎn)。該氣壓計(jì)還擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，是國產(chǎn)傳感器的杰出代表。其中CMOS-MEMS單芯片集成傳感器技術(shù)-CeMEMS，是麗恒光微的，包括已授權(quán)和獲準(zhǔn)申請(qǐng)超過160件。
　　　　PS2606主要參數(shù)：
　　
　　（1）氣壓量程：30~110kPa；
　　
　　（2）封裝形式：8-pinLGA封裝，封裝尺寸2.0x2.5x0.65mm；
　　
　　（3）相對(duì)精度： /-1m（95~105kPa，25℃）；
　　
　　（4）精度： /-0.1kPa（95~105kPa，0~40℃）；
　　
　　（5）電源電壓：VDD1.71~3.6V；VDDIO1.2~3.6V；
　　
　　（6）輸出接口：I2C，SPI；
　　
　　（7）功耗：2.7μA@1Hz采樣率；
　　
　　（8）工作溫度：-40~85℃。
　　
　　麗恒光微總經(jīng)理、中科院西安光機(jī)所微納研究中心副主任毛劍宏表示：“經(jīng)過多年的研發(fā)和經(jīng)營，麗恒光微利用上下游產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢(shì)，成功串聯(lián)起從MEMS傳感器設(shè)計(jì)到MEMS傳感芯片制造以及傳感器封裝測(cè)試等一條完整的MEMS傳感器產(chǎn)品供應(yīng)鏈。氣壓計(jì)PS2606是麗恒光微推出的第二款系列產(chǎn)品，未來將推出更多新產(chǎn)品滿足市場(chǎng)需求。”
　　
　　麗恒光微曾在早前已經(jīng)研發(fā)了一代PS1606，是一款高性能，低成本的電容式壓力傳感器，是30~110千帕數(shù)字輸出電容式CMOS-MEMS高精度壓力傳感器，為PS2606氣壓計(jì)（高度計(jì)）做技術(shù)支持。
　　
　　據(jù)悉，PS2606于2014年底開始樣本出貨及客戶推廣，預(yù)計(jì)2015年季度可投入規(guī)模量產(chǎn)。