12月22日，OFweek儀器儀表網(wǎng)將舉辦一場(chǎng)精彩的薄膜測(cè)量技術(shù)在線語(yǔ)音研討會(huì)——微型光纖光譜儀在膜厚測(cè)量中的應(yīng)用。現(xiàn)邀請(qǐng)廣大網(wǎng)友積極參與。
本次研討會(huì)邀請(qǐng)了海洋光學(xué)研發(fā)工程師文豪小姐進(jìn)行主講，并且在研討會(huì)期間將由海洋光學(xué)光學(xué)工程師丁海峰為網(wǎng)友們現(xiàn)場(chǎng)答疑。
海洋光學(xué)作為微型光纖光譜儀的，一直致力于光纖光譜儀，化學(xué)傳感器的研究，是的光傳感解決方案提供商，自1989年來(lái)在共售出近200，000套光譜儀，為OEM客戶提供靈活多樣的產(chǎn)品選擇，為工業(yè)科研用戶提供性能優(yōu)越的系統(tǒng)解決方案，涉及領(lǐng)域涵蓋生物，環(huán)保，醫(yī)藥，光電，化工，教育等。干涉膜厚儀nanocalc系列和橢偏儀specEI系列是海洋光學(xué)針對(duì)薄膜測(cè)量用戶推出的兩套解決方案，已經(jīng)應(yīng)用在半導(dǎo)體器件（如晶硅/非晶硅，SiO2，GaN，及半導(dǎo)體），金屬（Au，Ag等）鍍膜，多層減反射膜等光學(xué)薄膜，薄膜太陽(yáng)能電池，光刻膠，透明導(dǎo)電薄膜（ITO，F(xiàn)TO，AZO等），OLED（PEDOT，AlQ3），硬質(zhì)保護(hù)膜及封裝材料（PC，PET，PMMA等），鐵電介電薄膜（PbZr1-xTixO3，Si3N4）等薄膜厚度，光學(xué)參數(shù)（包括介電常數(shù)）的在線/離線檢測(cè)。根據(jù)配置選擇，測(cè)試范圍10nm-250μm，精度達(dá)0.1nm，對(duì)多層薄膜分析多可達(dá)10層，研究用戶還可選擇膜厚分析軟件SCOUT建模處理復(fù)雜膜系。
當(dāng)今微電子薄膜、光學(xué)薄膜、抗氧化薄膜、巨磁電阻薄膜、高溫超導(dǎo)薄膜等在工業(yè)生產(chǎn)和人類生活中的不斷應(yīng)用，對(duì)于工業(yè)應(yīng)用中的薄膜，其厚度是一個(gè)非常重要的參數(shù)，直接關(guān)系到該薄膜材料能否正常工作。如大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)工藝中的各種薄膜，電路集成程度的不斷提高，薄膜厚度的任何微小變化，對(duì)集成電路的性能都會(huì)產(chǎn)生直接的影響。除此之外，薄膜材料的力學(xué)性能，透光性能，磁性能，熱導(dǎo)率，表面結(jié)構(gòu)等都與厚度有著密切的聯(lián)系。
在人們對(duì)能測(cè)量薄膜厚度方法的迫切需求下，相應(yīng)地，產(chǎn)生了許多測(cè)量薄膜厚度的方案。而在眾多類方法當(dāng)中，光學(xué)方法是被應(yīng)用廣泛的方法。它相對(duì)于其它類方法具有快速、準(zhǔn)確和不損傷薄膜等優(yōu)點(diǎn)。近年來(lái)隨著高精度光學(xué)器件的產(chǎn)生和計(jì)算機(jī)的普及應(yīng)用，測(cè)量薄膜厚度的光學(xué)方法也有了很大的改進(jìn)。
這些測(cè)量方法按照其自身的特點(diǎn)可分成幾類。從不同的角度出發(fā)，也就會(huì)有不同的分類結(jié)果。綜觀當(dāng)前眾多流行的分類方式，按照測(cè)量方法所依據(jù)的光學(xué)原理進(jìn)行分類具代表性，可分為干涉、衍射、透射、反射、偏振等。海洋光學(xué)所推出的干涉膜厚儀nanocalc系列和橢偏儀specEI系列正是基于反射原理測(cè)量膜厚儀器中的個(gè)中強(qiáng)者。
本期在線語(yǔ)音研討會(huì)簡(jiǎn)介：
研討會(huì)主題：微型光纖光譜儀在膜厚測(cè)量中的應(yīng)用
舉行公司：海洋光學(xué)亞洲分公司
時(shí)間：2011年12月22日10:00-11:00
現(xiàn)誠(chéng)邀請(qǐng)廣大網(wǎng)友積極參與，欲參與此次在線語(yǔ)音研討會(huì)請(qǐng)點(diǎn)擊：http://webinar.ofweek.com/activityDetail.action?activity.id=4555210&user.id=2
將有機(jī)會(huì)獲取此次研討會(huì)的精美禮品。
海洋光學(xué)研發(fā)工程師文豪小姐
欲參與此次在線語(yǔ)音研討會(huì)請(qǐng)點(diǎn)擊：在線語(yǔ)音研討會(huì)——微型光纖光譜儀在膜厚測(cè)量中的應(yīng)用。
