【儀表網 行業標準】近日，由河北美泰電子科技有限公司 、安徽天兵電子科技股份有限公司 、中國電子科技集團公司第十三研究所 、中機生產力促進中心有限公司 、中央軍委裝備發展部軍事代表局駐石家莊地區軍事代表室 、廣東大普通信技術股份有限公司 、西安現代控制技術研究所 、深圳市諾信博通訊有限公司等單位起草，TC336(全國微機電技術標準化技術委員會)歸口的國家標準計劃《微機電系統(MEMS)技術 射頻MEMS環行器和隔離器》的征求意見稿已編制完成，現公開征求意見。
本文件按照GB/T 1.1—2020《標準化工作導則 第1部分：標準化文件的結構和起草規則》的規定起草。本文件等同采用IEC 62047-41:2021《半導體器件 微機電器件 第41部分：射頻MEMS環行器和隔離器》。本文件做了下列最小限度的編輯性改動：
——為與現行的MEMS領域國家標準命名方式協調一致，本國家標準的名稱為《微機電系統(MEMS)技術 射頻MEMS環行器和隔離器》。
本文件規定了射頻MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)環行器和隔離器的術語、基本額定值、特征參數以及測量方法。
本文件主要說明如下：
1)第1章 范圍：本文件規定了射頻MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)環行器和隔離器的術語、基本額定值、特征參數以及測試方法。
2)第2章 規范性引用文件：主要列出了本文件引用的 IEC 和國家標準化文件，引用的國家標準按照 GB/T 1.2-2020 給出了國標的采標情況以方便使用者。
3)第3章 術語和定義：規定了本文件需要界定的術語和定義。
4)第4章 基本額定值和特征參數：規定了本文件涉及到的射頻 MEMS 環行器和隔離器的基本額定值和特征參數。
5)第5章 測試方法：規定了射頻 MEMS 環行器和隔離器插入損耗、隔離度、回波損耗、電壓駐波比、輸入阻抗以及磁泄露的測試方法。
6)第6章 可靠性測試：規定了射頻 MEMS 環行器和隔離器功率容量、壽命、溫度循環、沖擊測試、振動測試以及鍵合強度和焊接剪切強度測試方法。
射頻 MEMS 環行器和隔離器突破了小型化硅腔體傳輸結構設計、旋磁材料與硅晶圓的圓片級異質封裝等關鍵技術，具備高性能的同時大大縮小了體積和重量，解決了相控陣雷達、彈載導引頭及衛星通訊等國家重點工程和重大裝備的急需，具有廣闊的應用前景。另外在 5G 領域，射頻 MEMS 環行器和隔離器因其采用 MEMS 工藝加工，具有小型化、低損耗、輕量化、一致性好等特點，該類環形器解決了 5G 基站毫米波頻段環形器損耗大、一致性差、成本高等瓶頸問題，對于 5G 基站毫米波頻段的應用具有非常重要的意義。
射頻MEMS環行器和隔離器是雷達及基站收發系統中的核心器件，《微機電系統(MEMS)技術 射頻MEMS環行器和隔離器》對其基本參數、測試方法、可靠性測試等進行了規定，提高了基于MEMS工藝制作的環行器和隔離器的準確性和規范性，為射頻MEMS環行器及隔離器可靠性提供依據，使我國射頻MEMS環行器及隔離器達到國際水平，對我國雷達及基站通信系統具有深遠意義。
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