該項目通過質譜和加氧技術的聯合運用，有效解決光刻材料檢測過程中碳沉積問題，關鍵雜質檢出限達到0.01 μg/kg，回收率為88.5%~119.8%；通過預吹掃、雙瓶吸收、吸收速度和吸收液體積的優化，提升了電子氣體的吸收效率，吸收效率大于92%，技術成果形成國家標準一項；通過運用大流量霧化器，解決了拋光材料堵塞進樣系統的問題，關鍵雜質的回收率為84.0%~120.0%，相對標準偏差小于10%，三種方法的線性相關系數均大于0.999。
項目已為集成電路企業提供200余次的技術服務，加快了材料國產化的進程。項目技術人員組織召開培訓會議6次，促進集成電路材料檢測的標準化水平提升。
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