【儀表網 行業標準】目前，由江蘇省納米技術標準化技術委員會(JS/TC53)歸口并組織起草的地方標準項目《微機電系統半導體氣體傳感器性能檢測方法》已進入征求意見階段，現公開廣泛征集意見(截止日期：2023年5月31日)，請填寫下方征求意見表，并發送郵件至fangdan@szjl.com.cn。主要起草單位為蘇州市計量測試院、蘇州慧聞納米科技有限公司等。
 

　　標準主要內容包括：一、適用范圍；二、規范性引用文件；三、術語和定義；四、檢測條件；五、檢測項目和檢測方法。
 

　　本標準規定了微機電系統半導體氣體傳感器的性能檢測方法。本標準適用的微機電系統半導體氣體傳感器可檢測氣體種類包括又不僅限于甲烷、一氧化碳、硫化氫、氮氧化物等無機氣體，以及烷烴、醇、醚、酯、酸、苯系物等揮發性有機氣體。
 

　　隨著人們對安全防控、環境監測、健康管理越來越重視，氣體傳感器已成為生產和生活不可或缺的一部分。半導體式氣體傳感器是研究最早、應用最廣的一種氣體傳感器。基于微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System)工藝的半導體氣體傳感器技術是目前半導體氣體傳感器發展的趨勢，它不僅僅繼承了傳統半導體氣體傳感器高靈敏度、低成本、敏感材料多樣性的優勢，還通過MEMS工藝技術大大減小了傳感器的體積、功耗，可以更好地適用于小型化和微型化器件的大規模生產，能夠有效提升傳感器的實用性。而且，借助于MEMS技術可以集成多個不同的傳感器組成傳感器陣列，結合算法進行擬合分析，可以改善器件整體的選擇性，克服了單個半導體傳感器選擇性差，不能用于混合氣體檢測的缺點。
 

　　基于其優點，MEMS半導體氣體傳感器的應用優勢也逐漸顯露。目前應用較多的為智能家電，如集成在燃氣熱水器、空氣凈化器、空調等家用電器中，用于家居環境中各種氣體的監測；還有應用于“電子鼻”中，用于泄漏監測、臭味或異味監測；另外，隨著健康管理的觀念逐漸深入人心，通過監測人體呼出氣體的特定成分來反映或預警人體的健康狀態近幾年深受研究學者和體外診斷醫療企業的青睞，MEMS半導體氣體傳感器在這方面的應用潛力巨大。
 

　　江蘇省是全國MEMS智能傳感器產業基地之一，聚集了大量MEMS智能傳感器研究、生產、應用企業，MEMS半導體氣體傳感器企業也融入其中。隨著產業的發展以及MEMS半導體氣體傳感器應用的增多，產品的檢測需求也隨之增多。然而，國內外卻沒有針對MEMS半導體氣體傳感器的檢測方法，本項目在于研究制定MEMS半導體氣體傳感器的檢測方法，形成統一的、具有普遍適用性的檢測標準，促進提升MEMS半導體氣體傳感器的產品質量，突出產品優勢，提高產品市場認可度，促進行業健康快速發展。