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氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器的結(jié)構(gòu)和工作原理2018/12/18
氣體質(zhì)量流量控制器（MassFlowController縮寫(xiě)為MFC）用于對(duì)于氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制；氣體質(zhì)量流量計(jì)（MassFlowMeter縮寫(xiě)為MFM）用于對(duì)于氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量。擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測(cè)量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工，冶金，制藥等。特點(diǎn)：精度高，重復(fù)性好。1、結(jié)構(gòu)MFM由電路板、傳感器、進(jìn)出氣管道接頭、分流器通道機(jī)殼等部件組成，只能對(duì)氣
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