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2022
11-17

壓電掃描臺(tái)柔性導(dǎo)向系統(tǒng)的優(yōu)勢(shì)
壓電掃描臺(tái)是一款定制設(shè)計(jì)的三維運(yùn)動(dòng)的壓電平臺(tái)，具有特殊的負(fù)載安裝孔位。它的中心具有50×50mm方形通孔，適用于樣品顯微成像/掃描、微納米范圍的對(duì)準(zhǔn)、納米聚焦、測(cè)量等應(yīng)用。壓電掃描臺(tái)中心具有通孔且體積小巧、無(wú)摩擦、分辨率高、響應(yīng)速度快，配置高精度傳感器，可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)分辨率及定位精度且具有高的可靠性。產(chǎn)品主要應(yīng)用于透光精密光學(xué)器件的定位與調(diào)整、生物顯微與光學(xué)顯微成像系統(tǒng)等。采用柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)，鉸鏈機(jī)構(gòu)基于固體的彈性變形，無(wú)滾動(dòng)和滑動(dòng)部分，具有零摩擦、高精度的特點(diǎn)，并且具有很高的剛度和承載能力。更重
2022
11-17

壓電微驅(qū)動(dòng)技術(shù)應(yīng)用于微納米操作系統(tǒng)/機(jī)器人
微納米操作系統(tǒng)/機(jī)器人一般又可稱為納米操作手、納米機(jī)械手、納米操縱器等，它的特點(diǎn)是對(duì)微小尺寸的對(duì)象進(jìn)行微納米級(jí)運(yùn)動(dòng)控制操作和處理。在當(dāng)前科技快速發(fā)展的當(dāng)下，具有非常廣泛的應(yīng)用場(chǎng)景，如微系統(tǒng)（MEMS）、分子操作、DNA測(cè)序、兆億容量存儲(chǔ)器等，這些都會(huì)需要微納操作系統(tǒng)。微納米操作系統(tǒng)/機(jī)器人要求非常高的運(yùn)動(dòng)控制精度，通常由顯微視覺(jué)、驅(qū)動(dòng)、傳感和控制等組成，各部分間閉環(huán)回路配合，才能完成微納米級(jí)精度的操作控制動(dòng)作。這種動(dòng)作有抓、提、移動(dòng)、放置等。而微納米操作系統(tǒng)/機(jī)器人具有非常多的種類(lèi)，例如基于光學(xué)
2022
11-02

淺析壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的原理及特征
壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器于它由計(jì)算機(jī)接口電路、單片機(jī)、數(shù)模轉(zhuǎn)換器、手動(dòng)旋鈕、轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)、電壓誤差放大器、高壓放大器、電流調(diào)節(jié)器、輸出級(jí)和電流傳感器組成。陶瓷它是一種能夠?qū)C(jī)械能和電能互相轉(zhuǎn)換的信息功能陶瓷材料，壓電陶瓷除具有壓電性外，還具有介電性、彈性等，已被廣泛應(yīng)用于醫(yī)學(xué)成像、聲傳感器、聲換能器、超聲馬達(dá)等。壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的應(yīng)用離不開(kāi)性能良好的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源。要實(shí)現(xiàn)納米級(jí)定位的應(yīng)用，壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源的輸出電壓需要在一定范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào)，同時(shí)電壓分辨率需要達(dá)到毫伏級(jí)。因此壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源技術(shù)已成為壓電微位移
2022
10-31

壓電陶瓷控制器在無(wú)損探傷中的應(yīng)用
壓電陶瓷控制器是一款數(shù)字式壓電控制器，它具有6個(gè)輸出通道，可同時(shí)驅(qū)動(dòng)6支PZT壓電陶瓷等容性負(fù)載，它的通信波特率可高達(dá)5250000，具有更快的通訊速率。該壓電陶瓷控制器是開(kāi)環(huán)壓電驅(qū)動(dòng)器，是專(zhuān)為驅(qū)動(dòng)容性負(fù)載而設(shè)計(jì)，如PZT壓電陶瓷促動(dòng)器等。它的帶寬可達(dá)10kHz，可用于動(dòng)態(tài)驅(qū)動(dòng)應(yīng)用。連接控制方式簡(jiǎn)單，只需連接電腦插入U(xiǎn)SB接口，通過(guò)上位機(jī)軟件輸出0～150V電壓，即可控制壓電陶瓷等產(chǎn)品。通過(guò)USB接口直接進(jìn)行供電，簡(jiǎn)單方便，無(wú)需要再額外增加外部供電接口及外部供電設(shè)備。壓電陶瓷控制器，具有USB通
2022
10-26

精密掃描臺(tái)在精密定位領(lǐng)域中的應(yīng)用
精密掃描臺(tái)是以壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)源，結(jié)合柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸精密運(yùn)動(dòng)的壓電平臺(tái)，壓電掃描臺(tái)中心具有通孔且體積小巧、無(wú)摩擦、分辨率高、響應(yīng)速度快，配置高精度傳感器，可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)分辨率及定位精度且具有可靠性。產(chǎn)品主要應(yīng)用于透光精密光學(xué)器件的定位與調(diào)整、生物顯微與光學(xué)顯微成像系統(tǒng)等。精密掃描臺(tái)由容性負(fù)載驅(qū)動(dòng)，可產(chǎn)生毫秒級(jí)的響應(yīng)時(shí)間，響應(yīng)速度非常快，同時(shí)由于自身的材料特性，使其在使用過(guò)程中不受干擾，能夠?qū)崿F(xiàn)性能輸出。壓電納米定位臺(tái)是以壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)源，結(jié)合柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)實(shí)
2022
10-20

WALK行走原理的XYZ三維直線壓電馬達(dá)！行程達(dá)100mm!
N31系列直線壓電馬達(dá)是芯明天研發(fā)設(shè)計(jì)、生產(chǎn)及銷(xiāo)售的一款納米級(jí)精密運(yùn)動(dòng)產(chǎn)品。它具有三個(gè)行程范圍可選，分別為25mm、50mm和100mm。可選配高精度光柵增量式編碼器作為傳感器，完成高精度的運(yùn)動(dòng)定位。N31系列直線壓電馬達(dá)是采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，利用類(lèi)似人行走的驅(qū)動(dòng)原理，將壓電陶瓷的高頻微動(dòng)的微小位移轉(zhuǎn)換為直線壓電馬達(dá)平臺(tái)的大行程、高精度運(yùn)動(dòng)。該系列直線壓電馬達(dá)具有大出力、閉環(huán)誤碰后自動(dòng)歸位等優(yōu)點(diǎn)。為滿足各種應(yīng)用中XYZ三維大行程、高精度位置調(diào)節(jié)的需求，芯明天基于N31系列直線壓電馬達(dá)專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)了一款
2022
10-13

PZT壓電陶瓷管可將光纖拉伸多長(zhǎng)？我們通過(guò)實(shí)驗(yàn)來(lái)證明
PZT壓電陶瓷是一種由鋯鈦酸鉛材料進(jìn)行燒結(jié)制成的一種容性器件，它可在電壓驅(qū)動(dòng)下產(chǎn)生形變位移，并且在受外力的作用下，可產(chǎn)生一定的電荷能量，即它具有正壓電效應(yīng)和逆壓電效應(yīng)。壓電陶瓷管工作原理壓電陶瓷管是一種管狀的壓電陶瓷，它與常見(jiàn)的片狀壓電陶瓷類(lèi)似。壓電陶瓷管的內(nèi)徑表面和外徑表面印刷有導(dǎo)電電極，一般為銀電極。除了內(nèi)外表面外，內(nèi)部材料均為PZT壓電陶瓷。因此，它一樣具有壓電效應(yīng)，在對(duì)內(nèi)外電極施加電壓時(shí)，壓電陶瓷管會(huì)產(chǎn)生徑向伸縮的位移。壓電陶瓷管結(jié)構(gòu)壓電陶瓷管拉伸光纖實(shí)驗(yàn)為了解壓電陶瓷管能夠?qū)⒐饫w拉伸多
2022
10-13

PZT壓電陶瓷管可將光纖拉伸實(shí)驗(yàn)
PZT壓電陶瓷是一種由鋯鈦酸鉛材料進(jìn)行燒結(jié)制成的一種容性器件，它可在電壓驅(qū)動(dòng)下產(chǎn)生形變位移，并且在受外力的作用下，可產(chǎn)生一定的電荷能量，即它具有正壓電效應(yīng)和逆壓電效應(yīng)。壓電陶瓷管工作原理壓電陶瓷管是一種管狀的壓電陶瓷，它與常見(jiàn)的片狀壓電陶瓷類(lèi)似。壓電陶瓷管的內(nèi)徑表面和外徑表面印刷有導(dǎo)電電極，一般為銀電極。除了內(nèi)外表面外，內(nèi)部材料均為PZT壓電陶瓷。因此，它一樣具有壓電效應(yīng)，在對(duì)內(nèi)外電極施加電壓時(shí)，壓電陶瓷管會(huì)產(chǎn)生徑向伸縮的位移。壓電陶瓷管結(jié)構(gòu)壓電陶瓷管拉伸光纖實(shí)驗(yàn)為了解壓電陶瓷管能夠?qū)⒐饫w拉伸多
2022
09-29

壓電納米運(yùn)動(dòng)產(chǎn)品在光刻機(jī)中的應(yīng)用
隨著信息技術(shù)的飛速發(fā)展，各行業(yè)對(duì)芯片的要求越來(lái)越高，要求高速、納米級(jí)超小尺寸、低功耗、低時(shí)延等，而這些要求都對(duì)微電子制造裝備的性能和精度提出了更高層次的要求。微電子制造裝備流程微電子制造的流程非常繁瑣，從原材料開(kāi)始，要經(jīng)過(guò)很多道復(fù)雜的工序才能得到最終可使用的芯片。大致流程如下。1.加法工藝1.1摻雜（擴(kuò)散、離子注入）對(duì)應(yīng)設(shè)備：擴(kuò)散爐、離子注入機(jī)、退火爐1.2薄膜（氧化、化學(xué)氣相淀積、濺射、外延）對(duì)應(yīng)設(shè)備：氧化爐、CVD反應(yīng)爐、濺射鍍膜機(jī)、外延設(shè)備2.減法工藝刻蝕（濕法刻蝕、干法刻蝕）對(duì)應(yīng)設(shè)備：濕
2022
09-14

芯明天E00/E01.A系列高壓放大器，用于驅(qū)動(dòng)MFC壓電纖維陶瓷片
根據(jù)壓電陶瓷的逆壓電效應(yīng)，壓電陶瓷在電場(chǎng)的作用下會(huì)產(chǎn)生微位移。目前常用的壓電驅(qū)動(dòng)控制器采用的主要是電壓驅(qū)動(dòng)控制的方式，根據(jù)壓電陶瓷位移與其兩端電壓呈近似線性關(guān)系的原理，通過(guò)精確控制壓電陶瓷兩端驅(qū)動(dòng)電壓的大小以達(dá)到對(duì)位移的精密操控。壓電驅(qū)動(dòng)控制器根據(jù)其輸出的電壓大小可以分為：低壓控制器與高壓控制器。低壓控制器適合驅(qū)動(dòng)單層陶瓷片和疊堆陶瓷等，其電壓范圍-20V~150V。高壓控制器適合驅(qū)動(dòng)高壓疊堆陶瓷以及MFC壓電纖維陶瓷片，其電壓范圍可達(dá)-500V~1500V。MFC壓電纖維陶瓷片MFC壓電纖維陶
2022
09-08

壓電技術(shù)在TDLAS氣體檢測(cè)中的應(yīng)用
氣體檢測(cè)儀是一種常用的氣體濃度檢測(cè)儀器，主要利用氣體傳感器來(lái)檢測(cè)環(huán)境中的氣體種類(lèi)，它可檢測(cè)硫化氫、一氧化碳、氧氣、二氧化硫、磷化氫、氨氣、二氧化氮、氰化氫、氯氣、二氧化氯、臭氧和可燃?xì)怏w等多種氣體，廣泛應(yīng)用在石化、煤炭、冶金、化工、市政燃?xì)狻h(huán)境監(jiān)測(cè)、農(nóng)業(yè)等多種場(chǎng)所現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)。此外，它也可以實(shí)現(xiàn)特殊場(chǎng)合測(cè)量需要，可對(duì)坑道、管道、罐體、密閉空間等進(jìn)行氣體濃度探測(cè)或泄漏探測(cè)。可調(diào)諧二極管激光吸收光譜（TDLAS，TunableDiodeLaserAbsorptionSpectroscopy）是一種使用
2022
08-31

芯明天壓電偏擺臺(tái)的優(yōu)勢(shì)與選型
芯明天軟件控制壓電控制器是指通過(guò)上位機(jī)軟件控制，具有功率放大功能，且輸出電壓、輸出頻率可調(diào)，具有操作方便、數(shù)據(jù)精準(zhǔn)、軟件支持二次開(kāi)發(fā)等優(yōu)點(diǎn)。用于驅(qū)動(dòng)控制壓電納米定位產(chǎn)品，如壓電促動(dòng)器、壓電納米定位臺(tái)、壓電物鏡定位器、壓電偏轉(zhuǎn)鏡、壓電偏擺臺(tái)等。激光束偏轉(zhuǎn)及其掃描在半導(dǎo)體加工、軍事探測(cè)、航空航天、生物醫(yī)學(xué)、納米科學(xué)研究等領(lǐng)域得到了越來(lái)越多的應(yīng)用，同時(shí)對(duì)其性能要求也越來(lái)越高，受其體積，掃描頻率，掃描精度，掃描分辨率等諸多因素的制約。通過(guò)我公司壓電快速偏擺臺(tái)可**的解決以上問(wèn)題。基于壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的快速
2022
08-17

什么是宏微復(fù)合式壓電移相器？
什么是宏微復(fù)合式壓電移相器？壓電式移相器介紹壓電式移相器（也稱壓電陶瓷移相器），是基于壓電陶瓷設(shè)計(jì)并通過(guò)驅(qū)動(dòng)壓電陶瓷產(chǎn)生微運(yùn)動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)移相功能的，在電壓信號(hào)的控制下產(chǎn)生納米級(jí)步進(jìn)運(yùn)動(dòng)，完成干涉中要求的微小移相運(yùn)動(dòng)。移相干涉技術(shù)(phaseshiftinginterferometry)是一種利用干涉圖對(duì)光學(xué)元件進(jìn)行測(cè)量的技術(shù)，其中核心部件為移相器，一般常用微位移運(yùn)動(dòng)器件驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)。壓電式移相器，以其優(yōu)良的測(cè)試精度而被廣泛用于各種現(xiàn)代干涉儀器中，并被廣泛地應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域。壓電式移相器是由壓電控制器所驅(qū)動(dòng)
2022
08-10

壓電陶瓷在半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域的應(yīng)用
在半導(dǎo)體領(lǐng)域，我公司提供各種基于壓電陶瓷的解決方案，包括用于減震的長(zhǎng)壽命壓電元件，用于定位的高性能大行程納米定位陶瓷。其他的精密運(yùn)動(dòng)產(chǎn)品還包括用于快速光束穩(wěn)定/角度校正的壓電偏擺平臺(tái)，用于納米測(cè)量應(yīng)用的壓電柔性納米臺(tái)，用于掩模對(duì)準(zhǔn)的納米對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，用于水平和垂直定位的新型混合大行程納米定位臺(tái)。應(yīng)用解決方案典型產(chǎn)品產(chǎn)品展示納米壓印光盤(pán)測(cè)試掩模與晶圓對(duì)準(zhǔn)物鏡精密定位光刻多軸壓電系統(tǒng)納米定位臺(tái)壓電促動(dòng)器納米聚焦系統(tǒng)定制六軸精密壓電定位臺(tái)P16壓電定位掃描臺(tái)P76/P72物鏡壓電定位器光學(xué)干涉閉環(huán)壓電促動(dòng)
2022
08-03

壓電技術(shù)在全息存儲(chǔ)中的應(yīng)用
隨著社會(huì)的發(fā)展和技術(shù)的進(jìn)步，人們對(duì)信息的需求不斷增加，由于信息的多媒體化，人們處理的數(shù)據(jù)不再是簡(jiǎn)單的文字、聲音、圖像，而是由高清晰度的和高質(zhì)量的聲音和運(yùn)動(dòng)圖像等綜合在一起的數(shù)字多媒體信息。對(duì)信息數(shù)據(jù)存儲(chǔ)的要求也越來(lái)越高，特別是對(duì)存儲(chǔ)量和速率的需求，促進(jìn)了各種存儲(chǔ)技術(shù)的發(fā)展。現(xiàn)有的存儲(chǔ)技術(shù)，如磁存儲(chǔ)和半導(dǎo)體存儲(chǔ)等雖然仍在不斷地改進(jìn)以滿足人們對(duì)超大容量和高存取速率的要求，但是這些存儲(chǔ)手段正逐漸接近其物理極限。而全息存儲(chǔ)將是更理想的存儲(chǔ)技術(shù)。全息光存儲(chǔ)技術(shù)是一種具有發(fā)展?jié)摿Φ男畔⒋鎯?chǔ)技術(shù)，因其具有高信
2022
07-20

新品介紹|XD107系列壓電掃描臺(tái) - 三維納米運(yùn)動(dòng)
XD107系列壓電掃描臺(tái)是一款定制設(shè)計(jì)的三維運(yùn)動(dòng)的壓電平臺(tái)，具有特殊的負(fù)載安裝孔位。它的中心具有50×50mm方形通孔，適用于樣品顯微成像/掃描、微納米范圍的對(duì)準(zhǔn)、納米聚焦、測(cè)量等應(yīng)用。XD107系列壓電掃描臺(tái)內(nèi)部采用機(jī)構(gòu)放大式驅(qū)動(dòng)原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷、無(wú)摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)XY向100μm/軸、Z向80μm位移。具有非常高的控制精度，分辨率和穩(wěn)定性都可達(dá)nm級(jí)，定位響應(yīng)時(shí)間也可達(dá)ms級(jí)。該壓電掃描臺(tái)可根據(jù)應(yīng)用需求選配閉環(huán)傳感器，以獲取更高的精度。產(chǎn)品特點(diǎn)?XYZ三維運(yùn)動(dòng)?行程可達(dá)1
2022
07-13

升級(jí)S38系列小體積壓電偏轉(zhuǎn)鏡，適于機(jī)載光學(xué)通信、成像、環(huán)境監(jiān)測(cè)
隨著科學(xué)技術(shù)的不斷進(jìn)步，特別是激光技術(shù)的出現(xiàn)及其在光學(xué)領(lǐng)域中的應(yīng)用，使得對(duì)激光操作調(diào)整的精度要求不斷提高。從經(jīng)典的光學(xué)技術(shù)到自適應(yīng)光學(xué)工程，壓電陶瓷技術(shù)以其精密的微納控制與超高的調(diào)節(jié)精度，在光學(xué)技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域中得到不斷擴(kuò)展。壓電偏轉(zhuǎn)鏡是以壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件，內(nèi)部采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，外部機(jī)械結(jié)構(gòu)通過(guò)內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來(lái)實(shí)現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，補(bǔ)償量小，確保偏轉(zhuǎn)鏡具有很高的運(yùn)動(dòng)精度和穩(wěn)定性，通過(guò)內(nèi)置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制，實(shí)現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。根據(jù)壓電偏轉(zhuǎn)鏡
2022
07-06

芯明天壓電宏微復(fù)合運(yùn)動(dòng)平臺(tái) - 毫米行程、納米精度
傳統(tǒng)的絲杠導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)平臺(tái)以其耐用可靠的特點(diǎn)廣泛的應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)、科研技術(shù)之中，然而隨著工業(yè)技術(shù)的提升以及科研的進(jìn)步，宏動(dòng)行程低精度的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)已無(wú)法滿足越來(lái)越高精度的使用要求，宏動(dòng)行程高精度調(diào)節(jié)的產(chǎn)品與方案應(yīng)運(yùn)而生-壓電驅(qū)動(dòng)宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)。壓電驅(qū)動(dòng)宏微復(fù)合的技術(shù)方案，解決了其要求行程大、定位精度高等技術(shù)難題，同時(shí)還具備了體積小、響應(yīng)速度快、出力大等技術(shù)優(yōu)勢(shì)。芯明天壓電宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)是手動(dòng)調(diào)節(jié)與電壓調(diào)節(jié)相結(jié)合的超精密定位臺(tái)。控制結(jié)構(gòu)分為兩部分，一部分為手動(dòng)調(diào)節(jié)臺(tái)，通過(guò)千分尺進(jìn)行調(diào)節(jié)；另一部分為壓電納米定位
2022
06-30

高精度直線壓電馬達(dá)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)|芯明天N31系列
近年來(lái)，隨著工業(yè)設(shè)備及應(yīng)用的升級(jí)與進(jìn)步，對(duì)宏動(dòng)行程范圍的運(yùn)動(dòng)控制提出了更高的要求，更大的行程范圍（mm級(jí)）、更高的運(yùn)動(dòng)精度（nm級(jí)）成為目標(biāo)。芯明天聚焦前沿科技應(yīng)用，結(jié)合自身技術(shù)優(yōu)勢(shì)，組織研發(fā)團(tuán)隊(duì)進(jìn)行了大量的設(shè)計(jì)與試驗(yàn)，終于實(shí)現(xiàn)了技術(shù)上的突破，成功研制了直線壓電馬達(dá)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。芯明天直線壓電馬達(dá)壓電馬達(dá)是由壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)單元，利用特殊的機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，將壓電陶瓷產(chǎn)生的直線微位移轉(zhuǎn)換為機(jī)械平面的宏觀直線運(yùn)動(dòng)，行程可達(dá)幾百毫米，精度則依然可以保持壓電陶瓷的超高精度，達(dá)納米級(jí)。原理介紹芯明天N31系列直
2022
06-22

【走進(jìn)壓電】之【壓電促動(dòng)器】
壓電促動(dòng)器的命名由它的驅(qū)動(dòng)動(dòng)力源及其功能相結(jié)合而來(lái)的。“壓電”指的是它的驅(qū)動(dòng)源，即利用PZT壓電陶瓷來(lái)作為驅(qū)動(dòng)源從而產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)；而“促動(dòng)器”則是它的功能，它的移動(dòng)端可以產(chǎn)生促動(dòng)的作用，即用來(lái)帶載物體進(jìn)行微位移調(diào)節(jié)。壓電促動(dòng)器是將PZT壓電陶瓷進(jìn)行加載預(yù)緊力，并進(jìn)行金屬殼體封裝，同時(shí)，配備有機(jī)械固定安裝接口與負(fù)載安裝接口。通常情況下，壓電促動(dòng)器自身就可以帶動(dòng)負(fù)載進(jìn)行微位移調(diào)節(jié)，其運(yùn)動(dòng)端的螺紋孔或桿，可直接與負(fù)載連接。當(dāng)然，它也可以驅(qū)動(dòng)機(jī)械結(jié)構(gòu)，再由機(jī)械結(jié)構(gòu)完成運(yùn)動(dòng)調(diào)節(jié)。與壓電陶瓷疊堆相比，壓電促動(dòng)器

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