A量程 | B信號輸入 | C報警狀態 | |||
010 | 10mm/s | 00 | 振動速度傳感器 | 00 | 自恢復 |
020 | 20mm/s | 01 | 加速度傳感器 | 01 | 自鎖 |
100 | 100um | | | 02 | 旁路 |
150 | 150um | | | | |
XXX | 其他 | | | | |
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