在硬盤和TFT-LCD的生產(chǎn)過程中以及半導(dǎo)體產(chǎn)品的處理過程中對懸浮粒子的實時監(jiān)控是非常重要的。 HCT 凝聚核粒子計數(shù)器 （CPC） 4322 和 4323可以滿足在工業(yè)生產(chǎn)中對懸浮粒子濃度進行快速的檢測和報警的需要。

這款水基凝聚核粒子計數(shù)器（WCPC）的設(shè)計可以滿足高級別潔凈室的檢測需要。它的zui小采樣粒徑可以達到 10 nm, 而且采樣流量高達2.83 L/min，可以快速采樣或者按照流量進行采樣?？娠@示粒子濃度、總粒子數(shù)或者濃度變化圖表。

優(yōu)點：

•  快速響應(yīng)

•  高采樣流速

•  水基

•  兼容 SMPS 系統(tǒng)

•  zui小檢測粒徑達到 7 nm

•  高級別潔凈室監(jiān)測

•  可遠(yuǎn)程控制

參數(shù)：

 •  計數(shù)效率 : 50 % @ 7 nm  NaCl 粒子     100 % @ 10nm  NaCl 粒子

 •  采樣流量 : 1.0 L/min for 4322     2.83 L/min （0.1 cfm） for 4323

 •  工作用液體 : 去離子水 （*使用）

•   zui大檢測濃度: 285.7 X 106 particles / ft³ for 4322   285.7 X 105 particles / ft³ for 4323

•  精度: ±10 % up to 285.7 X 106 particles / ft³ for 4322 

             ±10 % up to 285.7 X 105 particles / ft³ for 4323

•  12小時背景誤計數(shù)： 0.001 particles/cm³ for 4322      0.0005 particles/cm³ for 4323

•  響應(yīng)時間（在測試濃度發(fā)生變化的情況下）：< 5 seconds for 95 % for 4322

                                                                               < 2 seconds for 95 % for 4323

•  數(shù)據(jù)通訊 : 以太網(wǎng)LAN接口， USB 接口或 RS232

•  操作系統(tǒng) : 內(nèi)置Windows XP

•  數(shù)據(jù)儲存 : FDM （Flash Disk Module） 2GB     zui大可擴展到 60GB

•  氣源 : 內(nèi)置無刷直流氣泵

•  外形尺寸 （L X H X W） : 320 X 315 X 260 mm

• 重量 : 13.4 kg

•  電源 : 100~240 VAC, 50~65 Hz