產品簡介:
F20是我們的通用臺式儀器。它們在*被用于幾千種用途。厚度和折射率在幾秒鐘內就能得到測量。就像我們所有的臺式儀器一樣,F20需要連接到您裝有Windows計算機的USB端口上并在數分鐘內即可完成設定。
不同的F20膜厚測量儀主要是根據波長范圍來加以區分的。標準的F20是我們zui為普遍的產品。較短的波長(例如,F20-UV)一般用于測量較薄的薄膜,而較長的波長(例如,F20-NIR)則可以用來測量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。
產品特性:
操作簡單、使用方便;
測量快速、準確;
體積小、重量輕;
價格便宜
產品應用:
半導體行業:光阻、氧化物、氮化物;
LCD行業:液晶盒間隙厚度、 Polyimides;
光電鍍膜應用:硬化膜、抗反射膜、濾波片
| F20-UV | F20 | F20-NIR | F20-EXR |
測量范圍(只測試厚度) | 30Å ~ 50μm | 150Å ~50μm | 1000Å ~ 250μm | 150Å ~ 250μm |
測量范圍:(同時測試厚度和n&k值) | 500Å ~ 5μm | 1000Å ~ 5μm | 3000Å ~ 10μm | 1000Å ~ 10μm |
波長范圍 | 200-1100nm | 380-1050nm | 950-1700nm | 380-1700nm |
準確度 | 大于 0.4% 或 20Å | |||
精度 | 1Å | 2Å | 1Å | |
穩定性 | 0.7Å | 1.2Å | 0.7Å | |
光斑大小 | 標準 | |||
樣品大小 | | |||
探測器類型 | 1250-元素硅 | 512-元素砷化銦鎵 | 1000-元素硅 & 512砷化銦鎵陣列 | |
光源 | 正規氘燈 & 鎢鹵素燈 | 正規鎢鹵素燈 |