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  • 橢圓偏振測厚儀

TPY-1型 橢圓偏振測厚儀

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具體成交價以合同協議為準
  • 型號TPY-1型
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2018-05-14
  • 廠商性質經銷商
  • 所在地區廣東
  • 實名認證已認證
  • 產品數量159
  • 人氣值1690
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在近代科學技術的許多領域中對各種薄膜的研究和應用日益廣泛。因此,更加精確和迅速地測定給定薄膜的光學參數已變得更加迫切和重要。在實際工作中可以利用各種傳統的方法測定光學參數如:布儒斯特角法測介質膜的折射率,干涉法測膜厚,其它測膜厚的方法還有稱重法、X射線法、電容法、橢偏法等。由于橢圓偏振法具有靈敏度高、精度高、非破壞性測量等優點,因而,橢圓偏振法測量已在光學、半導體、生物、醫學等諸多領域得到廣泛的應用。
橢圓偏振測厚儀 產品詳情

特點:
 
·儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率,具有精度高、靈敏度高以及方便測量等特點;
 
·光源采用氦氖激光器,功率穩定波長精度高;
 
·儀器配有生成表、查表以及精確計算等軟件,方便用戶使用。

主要技術指標:
測量范圍
薄膜厚度范圍:1nm-300nm;折射率范圍:1-10;
測量zui小值:≤1nm
入射光波長:632.8nm
光學中心高:80mm
允許樣品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm
偏振器方位角范圍:0°- 180°讀取分辨率為0.05°
外形尺寸:680*390*320mm
測量膜厚和折射率重復性精度分別為:±0.5nm和±0.005
主機重量:25kg
入射角連續調節范圍:20°- 90°精度為0.05°

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