產(chǎn)品說明
本儀器是把UV-Vis光照在測量對象上，利用從測量對象中反射出來的光線測量膜的厚度的產(chǎn)品。
這種產(chǎn)品主要用于研究開發(fā)或生產(chǎn)導(dǎo)電體薄膜現(xiàn)場，特別在半導(dǎo)體及有關(guān)Display工作中作為In-Line monitoring 儀器使用。
產(chǎn)品特性
1) 因為是利用光的方式，所以是非接觸式，非破壞式，不會影響實驗樣品。
2) 可獲得薄膜的厚度和 n,k 數(shù)據(jù)。
3) 測量迅速正確，且不必為測量而破壞或加工實驗樣品。
4) 可測量 3層以內(nèi)的多層膜。
5) 根據(jù)用途可自由選擇手動型或自動型。
6) 產(chǎn)品款式多樣，而且也可以根據(jù)顧客的要求設(shè)計產(chǎn)品。
7) 可測量 Wafer/LCD 上的膜厚度 (Stage size 3“ )
8) Table Top型, 適用于大學(xué),研究室等
產(chǎn)品型號/規(guī)格
The advantage of infinity - corrected optics Optics solve the problem of coma aberration by using a new tube lens
| Stage Size | 150 x 120mm(70 x 50mm Travel Distance) |
| Measurement Range | 200Å~ 35μ m(Depends on Film Type) |
| Spot Size | 20μm Typically |
| Measurement Speed | 1 sec/site Typically |
| Application Areas | Polymers : PVA, PET, PP, PR ... Dielectrics : SiO2, TiO2, ITO, ZrO2, Si3N4 .. Semiconductors : Poly-Si, GaAs, GaN, InP, ZnS... ＊Supporting up to 3 Layers ＊Supporting Backside Reflection |
| Head | Trinocular Head |
| Nosepiece | Quadruple Revolving Mechanism with Inward Tilt |
| Total Magnification | 40X ~ 500X |
| Type of Illuminati | 12v 20W Halogen Lamp Built-in Control Device & Transform |
