X-Strata960(X熒光鍍層測厚儀)基于多年涂鍍層測量經驗，在CMI900系列測厚儀的堅實基礎上，CMI960引進全新的設計：
1.新100瓦X射線管
市場上所能提供的zui強大的X射線管。提高30%測量精度，同時減少50%測量時間
2.更小的X射線光斑尺寸
新增15mil直徑準直器，可測量電子器件上更小的部位。提供改進的CCD攝像頭及縮放裝置，同時提供更高精度的Y軸控制。
3.距離獨立測量（DIM）
更靈活地特殊形狀樣品，可在DIM范圍內12.5-90mm（0.5-3.5inch）對樣品表面進行測量，Z軸可控4.制范圍為230mm（9inch）。可通過手動調整也可以通過自動鐳射聚焦來實現對樣品的精確對準。
5.自動鐳射聚焦
自動尋找振決的聚焦距離，改善DIM的聚焦過程并提高系統測量再現性。也可選擇標準的鐳射聚焦模式。
5.全新的大型樣品室
更大的開槽式樣品室（580x510x230mm : 23x20x9inch）,開槽式設計可容納超大尺寸的樣品。可從各個方向簡便的裝載和觀察樣品。
6.3種樣品臺選項
XY程控控制(200x200mm或8x8inch移動范圍)/XY手動控制（250x250mm或10x10英寸）/固定樣品臺；標準配置Z軸程控控制(230mm或9inch移動范圍)。
7.內置PC用戶界面

X-Strata960(X熒光鍍層測厚儀)技術參數

● X射線激發和檢測：
牛津儀器制造的100瓦(50kV-2.0mA)微焦點鎢靶X射線管
高分辨封氣(Xe)正比計數器可獲取zui高的計數靈敏度，配合二次濾光器機構實現*的檢出效果
● 數字脈沖處理：
4096通道數字多道分析器，數字光譜處理過程可獲取zui高的信號采集(每秒計數量)，從而保證的測量統計結果
● 手動或自動透鏡控制：
手動透鏡控制：通過手動調整DIM旋鈕控制分析聚焦距離
自動透鏡控制：激光束自動尋找DIM系統的*分析聚焦距離
● 自由距離測定：
簡化系統設置和維護
在聚焦距離范圍內僅需要一個校正
對不規則樣品更靈活的測量
在12.7mm-88.9mm的自由距離內，可準確測量樣品表面的任何一點
通過DIM旋鈕或使用自動激光聚焦功能，可快速、準確的確定聚焦距離
● 附帶自動透鏡功能的自動激光聚焦 *的、自動樣品擺放系統
激光掃描單鍵啟動
消除樣品碰擊Z軸的機會
改善DIM的聚焦過程
● 標準激光聚焦：
標準激光聚焦功能在所要求的聚焦聚焦上，自動尋找正確的Z軸位置，提高分析再現性，結果不受人為操作的影響
Z軸聚焦掃描單鍵啟動
改善DIM和常規固定焦距測量時的聚焦過程
● 微小準直器：
儀器至少裝備一個客戶規格的準直器以*化測量，并提高測量效率
備有各種規格準直器(0.015mm – 0.5mm),園形或矩形供客戶選用
多準直器程序交換系統可同時安裝4個準直器
● 大樣品室設計：
方便超大樣品的推拉式平臺：如大面積PCB板、較長的管材樣品
大型開發式樣品室：方便于從各方向進樣和觀察樣品
三種樣品臺備選：可編程XY軸樣品臺、手動XY軸樣品臺、固定位置樣品臺
標準配置自動化Z軸：zui大高度230mm
● 集成化計算機：
工作站式設計：改善人機工程學、方便使用
簡化設備安裝：僅需要接入主電源線，沒有其他電纜
減少整機占用空間
USB和Ethernet接口：打印機、刻錄機、局域網和遠程在線支持功能
● 其他硬件特點：
CCD相機擁有2x、3x或4x的變焦功能，可實現對測定樣品的高分辨、實時、彩色圖像觀測
溫度補償功能監測系統溫度，并自動校正由于溫度變化可能引起的儀器漂移，保證*的儀器穩定性
光譜校準、單擊鼠標執行系統性能自檢和校正程序保證儀器*的穩定性
堅實耐用的儀器設計適用于各種工業環境
一體化工作站設計實現*的人機工程學