平面平晶是以光波干涉原理為基礎(chǔ)，利用平晶的測(cè)量面與試件的被測(cè)量面之間所出現(xiàn)的干涉條紋來測(cè)量被測(cè)量面的平面度
平面平晶用于檢定量塊的研合性和平面度以儀器和量具的測(cè)量面、工作面的平面度。亦可用于檢定高精度的平面零件，例如，平面光學(xué)零件、高級(jí)平臺(tái)、平板、導(dǎo)軌、密封件等。平面平晶特別適用于計(jì)量單位、實(shí)驗(yàn)室作為標(biāo)準(zhǔn)平面和樣板。
| 平面平晶的技術(shù)參數(shù)（備注：特殊規(guī)格、特殊材料平晶可定做） | ||||
| 平面直徑d(mm) | 基本參數(shù) | |||
| 1級(jí) | 2級(jí) | |||
| d范圍內(nèi) | 2/3d范圍內(nèi) | d范圍內(nèi) | 2/3d范圍內(nèi) | |
| 30 | 0．03 | ---- | 0．1 | 0．05 |
| 45 | ||||
| 60 | ||||
| 80 | 0．05 | 0．03 | ||
| 100 | ||||
| 150 | ||||
| 200 | 0．08 | 0．05 | 0．12 | 0．06 |
| 250 | 0．1 | 0．05 | 0．05 | 0．08 |
| 300 | 0．15 | 0．09 | 0．09 | 0．1 |
