非接觸式膜厚測量儀 EA-160
產(chǎn)品描述:
◆高速度、高精度測量系統(tǒng)
◆160mm×160mm范圍測量
◆透明材質(zhì)穿透測量
◆測量膜厚、線寬、平面度等
◆多程序自由切換，方便靈活
技術：
◆采用白光共焦技術，分辨率達到5nm，量程13mm
◆0-160mm運動精度達到微米級，X、Y方向無機械接觸，采用全閉環(huán)反饋系統(tǒng)，實現(xiàn)高精度測量
◆高精度、高分辨率CCD系統(tǒng)，結(jié)合effecttek軟體算法，支持影像定位輔助系統(tǒng)
應用：
◆厚膜電路測量
◆晶圓涂膠測量
◆LTCC膜厚、線寬測量
◆MEMS測量
◆透明材質(zhì)測量
◆太陽能面板測量
設備技術參數(shù):
項 目 | 技術參數(shù) |
外觀尺寸 | 950mm*650mm*500mm |
X、Y測量行程 | 160mm*160mm |
Z軸可調(diào)行程 | 50mm |
有效測量范圍 | 130mm*130mm |
掃描最小步距 | 1um |
掃描速度 | 30mm/s |
測試重復精度 | 20nm(標樣) |
電 源 | AC220V±10%,50-60 Hz |
| 產(chǎn)品名稱 | 參考價 | 地區(qū) | 公司名稱 | 更新時間 | |
|---|---|---|---|---|---|
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