OptiCentric® 300/600——高精度校準、組裝和大型鏡頭的最終檢驗
OptiCentric® 300/600 Ultra Precision設備,將該儀器的優點轉移到大型,重透鏡組件的測量上,其重達1200kg,直徑800mm,該系列在花崗巖基礎上的設計為您提供了剛性和熱穩定性,所以即使緩慢的固化膠粘合,也能實現很高的精度。 | ![]() |
關鍵特點
測量大型透鏡,重達1200kg,直徑達800mm,高達1500mm;
花崗巖的結構提供了剛性和熱穩定性;
帶編碼器的線性空氣軸承,精確的定位在測量頭上;
用自準直儀的測量頭,透鏡中心的高精密的測量;
可交換的透明幾乎是無限的測量范圍,不需要測量頭的不方便長時間運動;
反射和透射的測量;
大范圍的軟件選項:多鏡頭,AspheroCheck UP,SmartAlign;
可選中心厚度測量精度可達0.15μm;
集成的配件,如工作臺、測量導軌、膠水分配器、紫外照明;
的軟件控制著OptiCentric®整個系統;
應用
在顯微光刻法、空間和其他行業中的大型光學儀器。 用MultiLens軟件模塊測量光學系統的中心; 測量光軸,相對與機械軸; 測量EFL、BFL、FFL、軸上MTF(OptiSpheric®升級); 通過使用低相干干涉儀測量空氣間隔和中心厚度(OptiCentric® 3D 升級); 表面半徑測量; 球面、非球面、圓柱透鏡的測量; 紅外透鏡的測量(OptiCentric®UltraPrecision的配置取決于透鏡材料和應用); | ![]() |
OptiCentric®軟件——比較全面的中心偏差測量軟件
OptiCentric®系統的用戶通過OptiCentric® 軟件控制整個測量過程,所有的組件、升級、測量和分析程序都集成到軟件程序中,這樣用戶可以輕松、快速、高精度的測量。 | |
主要優勢
實時顯示測量值/中心偏差實時測量;
反射和投射測量取決于OptiCentric®系統;
各階段的協調控制和分析;
所有集成傳感器的數據采集和分析;
自動對焦;
測量目標,非球面透鏡和柱狀透鏡的方法;
用于測量目標的多鏡頭選項;
中心偏差計算和用戶的機械或者光學參考軸的對齊方式;
數據導入和導出;
通過/失敗的指標;
OptiCentric® 300 UltraPrecision | OptiCentric® 600 UltraPrecision | OptiCentric® 800 UltraPrecision | |
精度在VIS范圍內 | 0.1µm | 0.1µm | 0.1µm |
樣品直徑 | 400mm | 700mm | 800mm |
空氣軸承 | ?300mm | ?600mm | ?800mm |
樣品高度 | 1000mm(其他要求) | 1500mm(其他要求) | 1500mm(其他要求) |
樣品重量(MAX) | 450kg | 900kg | 1200kg |
VIS光譜范圍的測量 | 上光路:自準直儀焦距500mm ; 下光路:自準直儀焦距300mm | 上光路:自準直儀焦距500mm; 下光路:自準直儀焦距300mm | 上光路:自準直儀焦距500mm;下光路:自準直儀焦距300mm |
光源 | 高功率綠色LED光源 | 高功率綠色LED光源 | 高功率綠色LED光源 |
OptiCentric®升級和配件
OptiCentric®系統是模塊化的,可以通過升級和附件進行擴展,以便在測量中心偏差、校準透鏡和固化消色時擴大其應用范圍;
更新和升級
OptiCentric®升級
除了對中之外,OptiCentric®更新還可以測量有效焦距、后焦距、法蘭焦距、曲率半徑和軸上MTF;
MultiLens更新
MultiLens是衡量和調整目標的更新軟件。物鏡每個表面的中心誤差和系統的中心測量都是非破壞性的。
SmartAlign升級
利用獲得的SmartAlign算法(可作為OptiCentric®軟件的更新版本),分析測量中心誤差相對于用戶定義的光軸貨機械軸位置,這個工具在“OptiCentric® for Production系列”中的使用比較成功。
升級到OptiCentric® 3D
為了測量物鏡內的中心厚度和空氣間隔,低相干干涉儀OptiCentric®可以集成到OptiCentric®系統中。
雙膠合的固井升級
每個配備有空氣軸承的OptiCentric®系統都進行升級,以實現鏡片的高精度定位和固定。因此,投入新系統是必要的。 | ![]() |
CylinderCheck升級
通過CylinderCheck升級,可以確定圓柱軸的中心和圓柱形透鏡的楔形。 | ![]() |
升級為測試紅外光學
對于已安裝的紅外光學系統的質量控制,可視范圍內的測量頭與用紅外線工作的測量頭交換。 | ![]() |
AspheroCheck升級
AspheroCheck升級使用高精度光學距離傳感器來測量非球面相對于給定參考軸和斜率和位置。 | ![]() |
OptiAngle®升級
此次升級將OptiAngle®系統轉變為平面光學角度測量的工具。 原則上,OptiCentric®系列的所有設備都可以集成到工作站中。配件、個人電腦和各種控制器可以安裝和存儲在特別設計的理念,因此,使我們的設備日常工作變得更容易,同時提高效率。 | ![]() |
飾品
擴展附件組件,簡化OptiCentric®系統的應用。
帶有吸附裝置的旋轉裝置
帶有真空裝置旋的是一個旋轉裝置,以外邊緣為基準來測量單個透鏡的對中誤差。使用電機驅動的摩擦輪將鏡頭轉到V棱鏡上。鏡頭通過真空保持在適當位置。所以功能的控制,如壓力、旋轉和真空泵集成在一個控制單元,壓縮空氣管系統不是必需的。
傾斜表(TRT)
OptiCentric®系統使用傾斜表對齊樣本。傾斜臺的分離運動可以精確定位樣品貨樣品架。針對各種應用和測量系統,傾斜工作臺有不同的直徑。 | ![]() |
擴展測量范圍
頭戴式鏡頭可將OptiCentric®系統的測量范圍的曲率半徑和焦距擴展到±2000mm以上。這意味著OptiCentric®系統比沒有頭戴式的系統靈活的多。
編碼器升級
線性編碼器升級為高分辨率。
塔臺
建議使用轉臺快速輕松的更換頭部鏡頭。OptiCentric®提供了一個手動4X換盤機和一個電動控制的6X換盤機。 | ![]() |
探頭和線性標尺
所有傳感器和線性標尺都集成到系統中,并使用軟件進行分析,鏡頭或底座的邊緣由光學或觸覺傳感器測量,并用于確定鏡頭或底座的對稱軸,然后軟件檢查對稱軸和光軸現對于彼此的位置。線性標尺是鏡片半徑測量所必需的。 | ![]() |
光源
大多數OptiCentric®系統都有標準的照明接口,因此可以使用不用的光源(大功率LED、冷光源)。
對其集
一組具有兩個高精度的平面平行板(直徑25mm和50mm)和兩個玻璃珠(直徑4mm…12mm和14mm…28mm)可供校準樣品貨直接對準樣品固定件和外殼。
參考楔
參考楔塊用于檢查OptiCentric®系統的測量精度,他們符合國際標準。
OptiCentric®參考物鏡
結合OptiCentric® 3D更新,建議使用量塊,通過該量塊可以檢查空氣間隔和中心厚度測量的準確性,量塊符合國際標準。
真空夾頭
由于大量獨立的鏡片設計,幾乎不可能所有鏡頭使用標準夾具。因此各種各樣尺寸的夾盤都比較適合許多常見透鏡幾何結構。真空夾盤的設計保持簡單和成本低廉,所有原則上它們可以單獨使用且不用太多成本。