
型號 | SJ-500 | SV-2100M4 | SV-2100S4 SV-2100H4 SV-2100W4 | SJ-500P | SV-2100M4 |
測量范圍 X軸 | 50mm | 100mm | 50mm | 100mm | |
測量范圍 X軸 | 800 µm 、80 µm 、8 µm | ||||
檢出方式 | 差動電感方式 | ||||
分辨力 | 0.01 µm(800µm范圍) ,0.001 µm(80µm范圍) ,0.0001 µm(8µm范圍) | ||||
觸針形狀 | 60º/2 µm, 0.75mN 90º/5 µm, 4mN | ||||
測量速度 | 0.02 ~ 5mm/s | ||||
驅(qū)動速度 | 0 ~ 20mm/s 或手動操作 | 0 ~ 40mm/s或手動操作 | 0 ~ 20mm/s 或手動操作 | 0 ~ 40mm/s 或手動操作 | |
直線度 | 0.2 µ m/50mm*1 | 0.15 µ m/100mm | 0.2 µ m/50mm*1 | 0.15 µ m/100mm | |
分辨力 | 0.05 µm | ||||
移動量 | — | 350mm (H4, W4: 550mm) | — | 350mm | |
驅(qū)動速度 | —*2 | 手動操作 | 0 ~ 20mm/s或手動操作 | —*2 | 手動操作 |
分辨力 | ? | 1 µm | ? | ||
適用標(biāo)準(zhǔn) | JIS1982 / JIS1994 / JIS2001 / ISO1997 / ANSI / VDA | ||||
評價參數(shù) | Pa, Pq, Pz, Pp, Pv, Pt, Psk, Pku, Pc, PSm, PΔq, Pmr, Pmr (c), Pδc, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, A1, A2, Rmax, Rz, Pmax, PzJIS Ra, Rq, Rz, Rp, Rv, Rt, Rsk, Rku, Rc, RSm, RΔq, Rmr, Rmr (c), Rδc, Ry, R3z, RPc, Pc, Sm, S, HSC, Rmax, RzJIS, Rppi, RΔa, R λa, R λq, Rlo, Rlr, tp, Htp, Vo Wa, Wq, Wz, Wp, Wv, Wt, Wsk, Wku, Wc, WSm, WΔq, Wmr, Wmr (c), Wδc, Wy, W3z, WPc, Wmax, WΔa, W λa, W λq, Wlo, Wlr R, Rx, AR, W, Wx, AW, Wte | Pa, Pq, Psk, Pku, Pp, Pv, Pz, Pt, Pc, PSm, PΔq, Pmr (c), Pmr, Pδc, Ppq, Pvq, Pmq, PPc, PzJIS, PPI, Ra, Rq, Rsk, Rku, Rp, Rv, Rz, Rt, Rc, RSm, RΔq, Rmr (c), Rmr, Rδc, Rpq, Rvq, Rmq, Rmax, RzJIS, Wa, Wq, Wsk, Wku, Wp, Wv, Wz, Wt, Wc, WSm, WΔq, Wmr (c), Wmr, W δc, Wst, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, A1, A2, Rx, AR, R, Wx, AW, W, Wte, Ry, RyDIN, RzDIN, R3y, R3z, S, HSC, Lo, lr, Δa,λa,λq, Vo, Htp, NR, NCRX, CPM, SR, SAR, NW, SW, SAW | |||
評價輪廓 | 斷面曲線、粗糙度曲線、波紋度曲線、 DF曲線、粗糙度motif曲線、 波紋度Motif曲線 | 斷面曲線, 粗糙度曲線, 波紋度曲線, 濾波波紋度曲線, 帶狀波動曲線, 滾圓波紋度曲線, 滾圓中心線波紋度曲 線, 包絡(luò)殘余線, DIN4776曲線, 粗糙度motif曲線, 波紋 度motif曲線 | |||
分析圖表 | ADC 、BAC、功率譜圖 | ADC, BAC圖, 功率譜圖, 自相關(guān)圖, Walsh功率譜圖, Walsh自相關(guān)圖, 傾斜分布圖, 局部峰值分布圖, 參數(shù)分 布圖 | |||
曲線補(bǔ)償 | 傾斜補(bǔ)償(曲面/任意)、圓補(bǔ)償、橢圓補(bǔ)償、 拋物線補(bǔ)償、雙曲線補(bǔ)償、圓錐補(bǔ)償、觸針圓弧補(bǔ)償 | 傾斜補(bǔ)償 (全部/前半/下半/端點(diǎn)/任意), R平面補(bǔ)償, 橢圓 補(bǔ)償, 拋物線補(bǔ)償, 雙曲線補(bǔ)償, 錐面補(bǔ)償, 多項(xiàng)式補(bǔ)償 | |||
濾波器 | Gaussian, 2CR75, PC75, Robust-Spline | Gaussian, 2CR75, 2CR50, 2CRPC75, 2CRPC50, Robust-Splin, Robust-Gaussian | |||
截止波長 | λs :0.25 / 0.8 / 2.5 / 8 / 25 / 80 / 250 µm / 無 λc :0.025 / 0.08 / 0.25 / 0.8 / 2.5 / 8 / 25 / 80 mm*3 λf :0.08 / 0.25 / 0.8 / 2.5 / 8 / 25 / 80 mm / 無 | λs:0.0008/0.0025/0.008/0.025/0.08/0.25/0.8 λc:0.025/0.08/0.25/0.8/2.5/8.0/25/任意 λf:0.08/0.25/0.8/2.5/8.0/25/任意 | |||
取樣長度 | 0.025 / 0.08 / 0.25 / 0.8 / 2.5 / 8 / 25 / 80 mm*3 | 0.025/0.08/0.25/0.8/2.5/8.0/25.0/80.0 | |||
段數(shù) | 1-20 | ~ 700() | |||
任意長度 | 0.02-50mm (0.01mm單位) | 0.02-100mm (0.01mm單位) | 0.025-50mm (0.001mm單位) | 0.025-100mm (0.001mm單位) | |
顯示語言 | 支持16種語言 日語, 英語, 德語, 法語, 意大利語, 西班牙語, 葡萄牙語, 韓語, 簡體中文, 繁體中文, 捷克語, 波蘭語, 匈牙利語, 土耳其語, 瑞典語, 荷蘭語。 | 支持17種語言 日語, 英語, 德語, 法語, 意大利語, 西班牙語, 葡萄牙語, 韓語, 簡體中文, 繁體中文, 捷克語, 波蘭語, 匈牙利語, 土耳其語, 瑞典語, 荷蘭語, 俄語。 |