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SuperViewW1 白光干涉三維形貌輪廓儀

參考價訂貨量

960000

≥1臺

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號SuperViewW1
  • 品牌中圖儀器
  • 所在地深圳市
  • 更新時間2025-03-10
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限5
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量1936
  • 人氣值236351
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深圳市中圖儀器股份有限公司成立于2005年,致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。


圖片1500.jpg


中圖儀器堅持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ),擁有一支集光、機(jī)、電、信息技術(shù)于一體的技術(shù)團(tuán)隊(duì),歷經(jīng)20年的技術(shù)積累和發(fā)展實(shí)踐,研發(fā)出了基礎(chǔ)計量儀器、常規(guī)尺寸光學(xué)測量儀器、微觀尺寸光學(xué)測量儀器、大尺寸光學(xué)測量儀器、常規(guī)尺寸接觸式測量儀器、微觀尺寸接觸式測量儀器、行業(yè)應(yīng)用檢測設(shè)備等全尺寸鏈精密儀器及設(shè)備,能為客戶提供從納米到百米的精密測量解決方案。


中圖儀器的銷售和服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)遍及全國三十多個省、市、自治區(qū),產(chǎn)品遠(yuǎn)銷歐、美、東南亞等海外市場,堅持為客戶提供高質(zhì)量產(chǎn)品和服務(wù)。


中圖儀器還將繼續(xù)專注于精密測量檢測技術(shù)的發(fā)展,自強(qiáng)不息、知難而上、勇于創(chuàng)新,為中國制造技術(shù)的快速發(fā)展貢獻(xiàn)力量!

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產(chǎn)地國產(chǎn) 加工定制
SuperViewW白光干涉三維形貌輪廓儀納米級分辨率,非接觸式測量各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。
白光干涉三維形貌輪廓儀 產(chǎn)品詳情

SuperViewW白光干涉三維形貌輪廓儀納米級分辨率,非接觸式測量各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

白光干涉三維形貌輪廓儀

產(chǎn)品特點(diǎn)

1、干涉物鏡

不通倍率的鏡頭,適應(yīng)于從超光滑到粗糙度各種表面類型的樣品。

2、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

外接氣源和加壓裝置直接充氣的雙通道氣浮隔振系統(tǒng),可有效隔離地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動噪聲。

3、聲波隔振防護(hù)

儀器外殼與內(nèi)部運(yùn)動機(jī)構(gòu)采用了分離式設(shè)計,有效隔離了聲波振動的傳導(dǎo)。

4、水平調(diào)整裝置

傾斜調(diào)整旋鈕,調(diào)整條紋寬度,提高3D圖像的重建精度。

5、便攜式操縱桿

采用人體工程學(xué)設(shè)計,集成了XYZ三軸位移和速度、光源亮度的自動控制,并配有緊急停止按鈕。

6、真空吸附臺

專為半導(dǎo)體晶圓片定制的真空吸附臺,確保樣品在測量過程中不受空氣中微弱氣流擾動的影像。

7、3D重建算法

自動濾除樣品表面噪點(diǎn),在硬件系統(tǒng)的配合下,測量精度可達(dá)亞納米級別。


產(chǎn)品功能

1)樣件測量能力:單一掃描模式即可滿足從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質(zhì)等所有類型樣件表面的測量;

2)單區(qū)域自動測量:單片平面樣品或批量樣品切換測量點(diǎn)位時,可一鍵實(shí)現(xiàn)自動條紋搜索、掃描等功能;

3)多區(qū)域自動測量:可設(shè)置方形或圓形的陣列形式的多區(qū)域測量點(diǎn)位,一鍵實(shí)現(xiàn)自動條紋搜索、掃描等功能;

4)自動拼接測量;支持方形、圓形、環(huán)形和螺旋形式的自動拼接測量功能,配合影像導(dǎo)航功能,可自定義測量區(qū)域,支持?jǐn)?shù)千張圖像的無縫拼接測量;

5)編程測量功能:支持測量和分析同界面操作的軟件模塊,可預(yù)先配置數(shù)據(jù)處理和分析步驟,結(jié)合自動單測量功能,實(shí)現(xiàn)一鍵測量;

6)數(shù)據(jù)處理功能:提供位置調(diào)整、去噪、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

7)數(shù)據(jù)分析功能:提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。

8)批量分析功能:可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板,針對同類型參數(shù)實(shí)現(xiàn)一鍵批量分析;

9)數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出:支持word、excel、pdf格式的數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能,支持圖像、數(shù)值結(jié)果的導(dǎo)出;

10)故障排查功能:配置診斷模塊,可保存掃描過程中的干涉條紋圖像;

11)便捷操作功能:設(shè)備配備操縱桿,支持操縱桿進(jìn)行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié)、光源亮度調(diào)節(jié)、急停等;

12)環(huán)境噪聲評價:具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲評價功能,定量檢測出儀器受到外界環(huán)境干擾的噪聲振幅和頻率,為設(shè)備調(diào)試和故障排查提供定量依據(jù);

13)氣浮隔振功能:采用氣浮式隔振底座,可有效隔離地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動噪聲,確保測量數(shù)據(jù)的高精度;

14)光源安全功能:光源設(shè)置無人值守下的自動熄燈功能,當(dāng)檢測到鼠標(biāo)軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源,防止光源高亮過熱損壞,并有效延長光源使用壽命;

15)鏡頭安全功能:雙重防撞保護(hù),軟件ZSTOP防撞保護(hù),設(shè)置后即以當(dāng)前位置為位移下限位,不再下移且伴有報警聲;設(shè)備配備壓力傳感器,并在鏡頭處進(jìn)行了彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計,確保當(dāng)鏡頭碰撞后彈性回縮,進(jìn)入急停狀態(tài),大幅減小碰撞沖擊力,有效保護(hù)鏡頭和掃描軸,消除人為操作的安全風(fēng)險。


自研3D顯微測量軟件平臺Xtremevision Pro

白光干涉三維形貌輪廓儀

Xtremevision Pro

全自主開發(fā)的第二代顯微3D測量軟件平臺,集成了圖像掃描、3D分析、影像測量、自動化測量等四個大的功能模塊,能夠適配中圖W系列、VT系列、WT系列所有3D儀器機(jī)型,可自主識別機(jī)型種類,二合一機(jī)型可在白光干涉和共聚焦顯微鏡中做到自動切換掃描模式。

Xtremevision Pro 移植了中圖在影像閃測領(lǐng)域的成功經(jīng)驗(yàn),重構(gòu)了顯微影像測量功能,可針對微觀平面輪廓尺寸的點(diǎn)、線間的距離、角度、半徑等參數(shù)進(jìn)行直接測量和自動匹配測量。

白光干涉三維形貌輪廓儀

自動化mark點(diǎn)識別坐標(biāo)定位自動化功能

Mark點(diǎn)影像識別自動坐標(biāo)位置校正,多區(qū)域坐標(biāo)點(diǎn)自動定位測量與分析,可組合式完成粗糙度、輪廓尺寸的批量自動化測量。

白光干涉三維形貌輪廓儀

自動拼接功能

支持方形、圓形、環(huán)形和螺旋形式的自動拼接測量功能,配合影像導(dǎo)航功能,可自定義測量區(qū)域,支持?jǐn)?shù)千張圖像的無縫拼接測量。


應(yīng)用領(lǐng)域圖片

SuperViewW白光干涉三維形貌輪廓儀對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

白光干涉三維形貌輪廓儀


部分技術(shù)指標(biāo)

型號

W1

光源白光LED
影像系統(tǒng)1024×1024
干涉物鏡

標(biāo)配:10×

選配:2.5×、5×、20×、50×、100×

光學(xué)ZOOM

標(biāo)配:0.5×

選配:0.375×、0.75×、1×

標(biāo)準(zhǔn)視場0.98×0.98㎜(10×)


XY位移平臺

尺寸
320×200㎜
移動范圍140×100㎜
負(fù)載10kg
控制方式手動和電動兼容型
Z軸聚焦行程100㎜
控制方式電動
臺階測量
可測樣品反射率0.05%~100
主機(jī)尺寸700×600×900㎜
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