應用案例:廣泛用于微電子工業,半導體工業等領域,如科瑞超純水設備系統采用全自動 CEDI 電去離子超純水處理技術,前置預處理配套使用加反滲透處理,有效去除水中各種鹽份及雜質,使出水達到用水工藝要求,已廣泛應用于電子、醫藥、電力、汽車等相關行業,合作案例有 IBM、東風日產、比亞迪等.
反滲透 + EDI 超純水設備
工藝流程:原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→過濾器→一級反滲透機→中間水箱→中間水泵→EDI 系統→微孔過濾器→用水點.
優點:這是目前制取超純水經濟、環保的超純水制備工藝,不需要用酸堿進行再生便可連續制取超純水,對環境友好,產水水質高,能滿足微電子清洗對水質的嚴格要求.
離子交換超純水設備
工作原理:通過離子交換樹脂與水中的離子進行交換反應,去除水中的各種離子,從而達到提純水質的目的。
優點:初投資少,占用空間小.
缺點:需要經常進行離子再生,耗費大量酸堿和水電等,且再生過程會影響設備的連續運行.
超濾設備
工作原理:超濾是一種以壓力為驅動力的膜分離技術,通過超濾膜的篩分作用,將水中的大分子物質、膠體、細菌等雜質截留,而允許水和小分子物質通過.
優點:可作為反滲透的預處理設備,有效去除水中的大分子雜質,保護反滲透膜,延長其使用壽命,提高整個系統的運行穩定性;操作簡單、能耗低、運行成本低.