●采用高脫鹽率反滲透膜，脫鹽率高，運行壓力低，壽命可靠。
●采用全自動控制，自動制水、儲水、送水，不需專人守護，隨用隨取。
●高脫鹽率、高回收率，節(jié)約用水成本。
●系統(tǒng)設有停水、停電、過載的自動保護功能，確保設備安全。
●系統(tǒng)產(chǎn)水水質在線檢測，數(shù)字化顯示準確直觀。
●操作面板人性化設計，操作簡單、易懂。
系統(tǒng)運行時震動小、噪聲小，對工作環(huán)境無影響。
高水質保障：能生產(chǎn)出電阻率高達 18MΩ?cm 以上，總有機碳（TOC）含量低于 5ppb，顆粒計數(shù)達到每毫升個位數(shù)甚至更低水平的超純水，滿足晶圓清洗對水質的**要求。
自動化程度高：配備**的 PLC 控制系統(tǒng)，可實時監(jiān)測和控制水質、壓力、流量、溫度等參數(shù)，實現(xiàn)自動運行、自動調節(jié)、自動保護和故障報警，減少人工操作和維護成本。
穩(wěn)定可靠運行：采用高品質的膜組件、泵、閥門等關鍵部件，經(jīng)過嚴格的設計和測試，設備運行穩(wěn)定可靠，能夠長時間連續(xù)供應高質量的超純水，確保晶圓清洗工藝的連續(xù)性。
靈活定制化：可根據(jù)不同的生產(chǎn)規(guī)模、水質要求和工藝需求，進行模塊化設計和定制化配置，方便設備的安裝、調試和擴展。
節(jié)能環(huán)保：采用節(jié)能型泵和優(yōu)化的工藝流程，降低能耗；同時，EDI 技術的應用減少了酸堿廢水的排放，符合環(huán)保要求。
