產(chǎn)品特色
● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 可選高精度：優(yōu)于0.5%
● 可測(cè)范圍廣，1～99%滿量程
● 響應(yīng)時(shí)間快，優(yōu)于10 ms
● 內(nèi)置130種常規(guī)以及腐蝕性氣體
● 可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲(chǔ)20種混合氣
● 可適用于諸多腐蝕性氣體
應(yīng)用及案例
● 大學(xué)/研究所
● 泄漏檢測(cè)
● 環(huán)境監(jiān)測(cè)
● 真空行業(yè)及鍍膜
● 工業(yè)爐窯
● 半 導(dǎo) 體
● 汽車制造
● 計(jì)量校準(zhǔn)
● 過(guò)程工藝氣體測(cè)量
技術(shù)指標(biāo)
介質(zhì)要求 潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可
介質(zhì)種類 內(nèi)置了130種氣體，請(qǐng)參考背面
一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇
量 程 從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM（）
測(cè)量范圍 1～99%滿量程
顯示流量 128 %滿量程
顯 示 屏 帶按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為L(zhǎng)CD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ±（0.8 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）
±（0.4 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）（可選），僅適用于量程為5 SCCM - 500 SLPM的設(shè)備
累計(jì)流量精度 流量精度之外增加 ± 0.5 % 額外誤差
重 復(fù) 性 ± 0.2 %滿量程
零點(diǎn)和量程漂移 0.02% 滿量程 / ℃ / Atm
響應(yīng)時(shí)間 優(yōu)于10 ms
預(yù)熱時(shí)間 ＜1 s
標(biāo)定工況 25 ℃ & 1 Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）
工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項(xiàng)）
溫度精度 ±0.75℃
工作濕度 0 ～99%，無(wú)冷凝
工作壓力 1 MPa 表壓
操作壓力 如果不做真空特殊標(biāo)定，建議在絕壓80KPaA以上使用； 其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定
進(jìn)出口壓差 0.5 MPa
滿量程壓損 參考詳細(xì)壓損表
數(shù)據(jù)刷新頻率 數(shù)字信號(hào)40 Hz@ 19200波特率；
模擬信號(hào)：1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
數(shù)字輸入/輸出信號(hào) RS232、RS485、Modbus RTU（RS-232/RS-485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*
模擬輸入/輸出信號(hào) 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可選第二路模擬輸出 質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號(hào)精度 在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 量程誤差
供電電壓 7-30 VDC （如選4-20 mA輸出，須為15 - 30 VDC ）
供電電流 40 mA，80 mA（4 - 20 mA 或 0 - 10 VDC）
電氣接口 DB9，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN
泄漏率（外漏） 選擇HLC選項(xiàng)，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質(zhì) 316L不銹鋼、303不銹鋼、430FRSS、FFKM（Kalrez)，可根據(jù)特殊氣體選用Viton、EPDM、Buna、Neoprene
過(guò)程連接 詳情參考?jí)簱p表
安裝方式 對(duì)位置無(wú)要求
防護(hù)等級(jí) IP40
認(rèn) 證 ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）
*如選Profibus，則無(wú)模擬信號(hào)，無(wú)顯示，其供電電壓及供電電流需來(lái)電垂詢
尺寸壓損
滿量程質(zhì)量流量計(jì) | 滿量程壓損1（psid） 排氣到大氣中 | 機(jī)械尺寸 | 管道連接接口2 |
0.5 sccm - 1 sccm | 1.0 | 4.4''H ×2.4''W ×1.1''D | M-5 （10-32）（內(nèi)螺紋） （Buna-N表面密封至1/8''NPT內(nèi)） |
2 sccm - 50 sccm | 1.0 | ||
100 sccm - 20 slpm | 1.0 | 4.6''H ×2.4''W ×1.1''D | 1/8''NPT內(nèi)螺紋 |
50 slpm | 2.0 | 5.1''H ×4.0''W ×1.6''D | 1/4''NPT內(nèi)螺紋 |
100 slpm | 2.5 | ||
250 slpm | 2.1 | 5.7''H ×4.0''W ×1.6''D | 1/2''NPT內(nèi)螺紋 |
500 slpm | 4.0 | 5.7''H ×4.0''W ×1.6''D | 3/4''NPT內(nèi)螺紋 （2000 SLPM 可選配1-1/4''NPT內(nèi)螺紋） |
1000 slpm | 6.0 | ||
1500 slpm | 9.0 | 6.0''H ×5.2''W ×2.9''D | |
2000 slpm | 5.0 | ||
3000 slpm | 7.1 | 6.0''H ×5.2''W ×2.9''D | 1-1/4''NPT內(nèi)螺紋 |
5000 slpm | 3.4 | 7.0''H ×5.2''W ×3.9''D | 2''NPT內(nèi)螺紋 |
1、見(jiàn)公制圖紙； 2、 與Beswick®，Swagelok®管，Parker®，表面密封，快接接頭和卡套轉(zhuǎn)接頭相兼容，也可以按照用戶需求與VCR，SAE接頭相兼容。 | |||
產(chǎn)品大圖
型號(hào)列表
見(jiàn)“尺寸壓損”。
氣體編碼
* 混合氣體編碼為“800”，選項(xiàng)中須有具體混合氣體比例說(shuō)明。
* 對(duì)于液體流量計(jì)和控制器，液體指純水，液體編碼為“900”。
* ALICAT非抗腐蝕流量計(jì)/控制器產(chǎn)品，可支持①類氣體。
* ALICAT抗腐蝕流量控制器產(chǎn)品，可支持①、②類氣體。
* ALICAT抗腐蝕流量計(jì)產(chǎn)品，可支持①、②、③類氣體。
* 未在表中列出的氣體，也可能被測(cè)控，具體請(qǐng)咨詢我們。
