一． 原理介紹

Alicat質量流量計是基于層流壓差原理的一種氣體質量流量計。當氣體通過流量計內部的層流元件時形成規則的層流運動狀態，使用差壓傳感器測量層流元件上兩個位置的氣體壓力差，結合氣體粘度數據和泊肅葉方程可計算出當前工況下氣體的體積流量。再通過氣體狀態方程將該工況的體積流量補償為標準狀態下的標況體積流量。由于成分固定的氣體在標況下密度是確定的，標況體積流量X密度=質量流量，因此也可將標況體積流量稱為質量流量。Alicat流量計實際測量的是以SCCM和SLPM為單位的標況體積流量。通常標況設定為25℃&1atm，或0℃&1atm。

二．主要特點

Alicat質量流量計具有以下特點：

1.      響應快：特殊的結構和工作原理，靈敏的傳感器，使流量測量響應時間更快，快可達到5ms響應，每秒采集信號1000次。

2.      無需預熱：上電即可使用，無需提前預熱，節省了等待時間。

3.      多參數測量：內置溫度、壓力傳感器，可同時測量并顯示氣體壓力、溫度、質量流量、體積流量等多種參數，如果選配了累計流量功能，還可以測量一段時間內流過的氣體總量。

4.      背光液晶屏：具有單色或彩色液晶屏，帶屏幕背光燈，可以更直觀的查看實時數據，方便讀數和調試。

5.      支持上百種氣體：內置100多種氣體的校準數據，切換氣體模式后即可測量不同氣體，無需換算或重新校準。

6.      通訊和操作模式：有多種數字通訊和模擬信號模式可供選擇，以便采集和記錄數據，也有面板按鍵可手動操作調試。

7.      精度：普通精度為±（0.8%讀數+0.2%量程）；高精度為±（0.4%讀數+0.2%量程）。

8.      量程：量程范圍寬，可定制。常規流量計小量程為0~0.5SCCM，大量程為0~5000SLPM。量程比200:1。

三．型號系列

Alicat質量流量計產品有多種不同系列，以滿足不同客戶、工況和應用的需求。

表1. Alicat質量流量計型號類別

表2. Alicat流量計壓損數據

M系列：標準型流量計。適用于非腐蝕性氣體常規應用，如流量測量，泄漏測試，流量比對校驗。

MS系列：耐腐蝕型流量計。適用于腐蝕性氣體流量測試。

MQ系列：耐高壓流量計。精度±2%F.S，高耐壓300PSIG，適用于高壓氣體應用。

MW系列：低壓損流量計。高耐壓45PSIG，壓損低，對氣體的壓降/阻力較小，適用于要求壓損特別低的應用，例如真空下流量測量，低壓力下流量測量，泄漏測試，流量比對校驗。不能用于壓力較高的應用，高壓會導致傳感器損壞。建議在不超過2 bar(G)的壓力下使用。

MB系列：便攜式流量計。內置可充電鋰電池，無需外接電源，適用于移動情況下無外部供電的應用，例如用于流量對比校準，環境監測站大氣分析儀流量校準。

MWB系列：便攜式低壓損流量計。內置可充電鋰電池，高耐壓45PSIG，壓損與MW系列一致，對氣體的壓降/阻力較小，適用于移動低壓應用，例如流量校準、環境監測儀器流量校準。

MBS系列：便攜式耐腐蝕流量計。適用于腐蝕性氣體和移動應用。

FP-25：大氣流量校準儀。具有內置溫度、濕度傳感器和外部溫度傳感器，可進行大氣濕度和溫度補償，用于環境監測站空氣流量校準。

四．        選型參數

各種型號的流量計可能會讓你眼花繚亂，如果您自己難以判斷哪種型號合適，也可以聯系工程師，我們需要知道以下工況參數來選擇適合您的流量計型號。

1.      應用描述：具體用于什么應用？泄漏測試一般使用M、MW系列；移動應用、流量校準、環境監測使用MB、MWB系列。

2.      介質

1）  成分：測量氣體的具體成分是什么，是否具有腐蝕性或水蒸汽？如果是請使用MS耐腐蝕型號。

2）  壓力：氣源壓力大小，流量計前端、后端壓力大小，是否真空應用？對壓損是否有要求？如果氣源壓力小于1bar(G)，或用于低真空，或對壓損有嚴格要求，無腐蝕性氣體，建議使用MW低壓損型。如果氣源壓力大于1MPa(G)，建議使用MQ。

3）  溫度：氣體溫度和環境溫度？如果氣體或環境溫度大于60℃，需要使用耐高溫特殊配置。

3.      流量計參數配置

1）  量程：流量范圍，小、大流量？需提供換算到質量流量的流量范圍以確定量程。

2）  流量單位選擇？SCCM,SLPM, Sm3/h, g/s 等。

3）  STP/NTP：標況溫度和壓力配置？

4）  精度：要求多高？常規精度和高精度可選。

5）  累計流量：是否需要測量累計流量？如是則增加累計流量功能。

6）  通訊：需要配置什么數字通訊和模擬信號？標配RS-232和0-5V模擬量，也可選擇其他。

7）  雙向流量：是否需要測量正反兩個方向的流量？如是則增加雙向標定。

4.      流量計硬件配置

1）  屏幕：是否需要配置顯示屏？是否需要屏幕與測量單元分離？

2）  供電：是否需要移動使用，內置鋰電池？

3）  管路接口：需要什么螺紋接口？默認NPT內螺紋。

4）  數據線接口：需要什么數據線接口？默認8針圓頭DIN。

5）  IP等級：防水防塵等級有無要求？

6）  防爆等級有無要求？

7）  泄漏率：要求泄漏率不高于多少？

希望Alicat能夠為您提供合適的流量計，如果有問題歡迎聯系：晟旗科技！